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TN-SPC-HUA6
TN
Recubrimiento giratorio con calentamiento por atmósfera asistida por ultrasonidos completamente automático para oblea de silicio semiconductor
Producto breve
TN-SPC-HUA6 es un recubridor giratorio pequeño y flexible, que puede rociar el pegamento sobre el sustrato a través de la boquilla ultrasónica y luego aplicar uniformemente el pegamento sobre el sustrato mediante una rotación de alta velocidad.También es posible realizar directamente la operación de recubrimiento por rotación solo.
La cámara está equipada con elementos calefactores que se pueden hornear después de girar el recubrimiento.
El producto tiene una ruta de gas controlada por un caudalímetro flotante de 2 vías, que puede pasar gas inerte a la cámara para proteger el líquido del pegamento del gas en el aire cuando se gira el recubrimiento.
Esta máquina es adecuada para el recubrimiento de superficies de obleas semiconductoras, diapositivas, obleas, sustratos, vidrio conductor ITO y otros procesos y fabricación de placas.
El tamaño máximo de la oblea cristalizable es de 6 pulgadas, la velocidad de rotación puede alcanzar las 10000 rpm y la aceleración puede alcanzar las 5000 rpm;
Tiene las ventajas de velocidad estable, inicio rápido, operación conveniente, etc., y puede garantizar la consistencia y uniformidad del espesor del recubrimiento giratorio.
Características del producto
1. Adopte un motor CC sin escobillas, control por microcomputadora de un solo chip
2. Control de pantalla táctil de alta definición
3. Un solo paso y
Se puede realizar una operación de recubrimiento por hilado de varios pasos, se pueden almacenar cinco programas y cada programa se puede configurar con cinco pasos de operación.
4. Diseño de pegamento antibloqueo
5. Cámara de aleación de aluminio, duradera.
6. Tiene varias funciones auxiliares, como ultrasonido, atmósfera, calefacción, etc., que pueden usarse para la investigación de recubrimientos por hilado.
Parámetro
Nombre | Recubrimiento por rotación en atmósfera asistida por ultrasonidos |
Tamaño del sustrato | 6 pulgadas |
Velocidad de rotación | 100~10000rpm ajustable |
aceleración rotacional | 100~5000rpm/s ajustable |
Tiempo de giro más largo (una sola vez) | 3000 |
tamaño de la cámara | Φ200mm* 90mm |
Voltaje | 220V 50Hz |
Fuerza | 400W |
Temperatura de calentamiento | 0-100℃ |
Garantía | 1 año de soporte técnico de por vida, excluyendo piezas vulnerables |
sistema ultrasónico
Material del cabezal atomizador | Aleación de titanio |
Frecuencia | 40kHz |
Fuerza | 130W |
Fluir | 0,55 ml/s |
Diámetro de partícula | 25um |
Tipo de cabezal atomizador | tipo de cono |
Peso del cabezal atomizador | 0,3 kilos |
Fuente de alimentación ultrasónica | Tamaño: 315*312*135 mm, peso: 5 kg |
Bomba de jeringa
Rango de flujo | 0,001 ul/min-43,349 ml/min |
Función de memoria de apagado | Guarde los parámetros de configuración, no es necesario configurarlos después de encender nuevamente |
Inyector | 10uL-1000uL |
Jeringuilla | 1 ml-60 ml |
Rango de velocidad lineal | 5um/min-65um/min |
Resolución de ajuste de velocidad lineal | 5um/min |
Carrera máxima | 140mm |
Resolución de viaje | 0.156um |
Empuje lineal nominal | >90N |
Medidor de corriente
Tipo de gas de control | 2 |
Caudal de gas | 16-160 ml/minuto |
Recubrimiento giratorio con calentamiento por atmósfera asistida por ultrasonidos completamente automático para oblea de silicio semiconductor
Producto breve
TN-SPC-HUA6 es un recubridor giratorio pequeño y flexible, que puede rociar el pegamento sobre el sustrato a través de la boquilla ultrasónica y luego aplicar uniformemente el pegamento sobre el sustrato mediante una rotación de alta velocidad.También es posible realizar directamente la operación de recubrimiento por rotación solo.
La cámara está equipada con elementos calefactores que se pueden hornear después de girar el recubrimiento.
El producto tiene una ruta de gas controlada por un caudalímetro flotante de 2 vías, que puede pasar gas inerte a la cámara para proteger el líquido del pegamento del gas en el aire cuando se gira el recubrimiento.
Esta máquina es adecuada para el recubrimiento de superficies de obleas semiconductoras, diapositivas, obleas, sustratos, vidrio conductor ITO y otros procesos y fabricación de placas.
El tamaño máximo de la oblea cristalizable es de 6 pulgadas, la velocidad de rotación puede alcanzar las 10000 rpm y la aceleración puede alcanzar las 5000 rpm;
Tiene las ventajas de velocidad estable, inicio rápido, operación conveniente, etc., y puede garantizar la consistencia y uniformidad del espesor del recubrimiento giratorio.
Características del producto
1. Adopte un motor CC sin escobillas, control por microcomputadora de un solo chip
2. Control de pantalla táctil de alta definición
3. Un solo paso y
Se puede realizar una operación de recubrimiento por hilado de varios pasos, se pueden almacenar cinco programas y cada programa se puede configurar con cinco pasos de operación.
4. Diseño de pegamento antibloqueo
5. Cámara de aleación de aluminio, duradera.
6. Tiene varias funciones auxiliares, como ultrasonido, atmósfera, calefacción, etc., que pueden usarse para la investigación de recubrimientos por hilado.
Parámetro
Nombre | Recubrimiento por rotación en atmósfera asistida por ultrasonidos |
Tamaño del sustrato | 6 pulgadas |
Velocidad de rotación | 100~10000rpm ajustable |
aceleración rotacional | 100~5000rpm/s ajustable |
Tiempo de giro más largo (una sola vez) | 3000 |
tamaño de la cámara | Φ200mm* 90mm |
Voltaje | 220V 50Hz |
Fuerza | 400W |
Temperatura de calentamiento | 0-100℃ |
Garantía | 1 año de soporte técnico de por vida, excluyendo piezas vulnerables |
sistema ultrasónico
Material del cabezal atomizador | Aleación de titanio |
Frecuencia | 40kHz |
Fuerza | 130W |
Fluir | 0,55 ml/s |
Diámetro de partícula | 25um |
Tipo de cabezal atomizador | tipo de cono |
Peso del cabezal atomizador | 0,3 kilos |
Fuente de alimentación ultrasónica | Tamaño: 315*312*135 mm, peso: 5 kg |
Bomba de jeringa
Rango de flujo | 0,001 ul/min-43,349 ml/min |
Función de memoria de apagado | Guarde los parámetros de configuración, no es necesario configurarlos después de encender nuevamente |
Inyector | 10uL-1000uL |
Jeringuilla | 1 ml-60 ml |
Rango de velocidad lineal | 5um/min-65um/min |
Resolución de ajuste de velocidad lineal | 5um/min |
Carrera máxima | 140mm |
Resolución de viaje | 0.156um |
Empuje lineal nominal | >90N |
Medidor de corriente
Tipo de gas de control | 2 |
Caudal de gas | 16-160 ml/minuto |
