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Fuente de alimentación de frecuencia media del revestimiento al vacío de la farfulla del magnetrón de MSB

Recubrimiento de pulverización catódica con magnetrón desequilibrado y recubrimiento de pulverización catódica con magnetrón de frecuencia media de doble objetivo, deposición química de vapor mejorada por plasma (PECVD) y similares
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  • TN

Fuente de alimentación de recubrimiento al vacío por pulverización catódica de magnetrón de frecuencia media MSB

Principales características:

1. Utiliza tecnología avanzada de fuente de alimentación conmutada en modo actual para reducir los componentes de almacenamiento de energía de salida.Al mismo tiempo, mejora la supresión de chispas y la velocidad de reinicio, y la ventaja del recubrimiento sobre objetivo de aluminio es más obvia.

2. Está disponible en modo de corriente constante/potencia constante.El modo de potencia constante garantiza la repetibilidad del proceso de recubrimiento en comparación con el modo de corriente constante convencional.

3. Tiene una característica ideal de caída pronunciada de voltaje, reconoce automáticamente el fenómeno de pseudoignición y satisface completamente la continuidad del proceso de pulverización catódica del magnetrón.

4. Los parámetros principales se pueden ajustar en una amplia gama.

5. Control manual opcional/control de interfaz analógica, interfaz de comunicación RS485 opcional.

Utilizando tecnología avanzada de modulación de ancho de pulso PWM, utilizando IGBT o MOSFET importados como dispositivo de conmutación de energía, es de tamaño pequeño, liviano, funcional, estable y confiable en rendimiento, y el proceso de producción es estricto y perfecto.

Esta serie de productos utiliza un sistema de control DSP avanzado para garantizar completamente la repetibilidad del proceso de recubrimiento y tiene la función de restringir la descarga de arco objetivo y resistir cortocircuitos.

Esta serie de productos tiene capacidad de adaptación de carga, lo que no solo garantiza la estabilidad del proceso de limpieza de la superficie objetivo, sino que también mejora la velocidad de limpieza de la superficie objetivo;

Los parámetros principales se pueden ajustar continuamente en una amplia gama;

Fácil mantenimiento y alta confiabilidad;

Interfaz PLC y función de expansión de interfaz RS485, control automático fácil de lograr.

Parámetros técnicos:

Modelo

Fuerza   (kW)

máx.   corriente de trabajo (A)

Dimensions

Enfriamiento   método

Sin carga   tensión (V)

Laboral   tensión (V)

MSB-10k

10

12.5

1   unidad

Aire acondicionado

1000

150~800V

MSB-20k

20

25

1   unidad

MSB-30k

30

37.5

2   unidades

MSB-40k

40

50

2   unidades

MSB-20k

20

25

1   unidad

refrigeración por aire y   refrigeración por agua

1000

150~800V

MSB-30k

30

37.5

1   unidad

MSB-40k

40

50

1   unidad

MSB-60k

60

75

2   unidades

MSB-80k

80

100

2   unidades

MSB-100k

100

125

3   unidades

MSB-120k

120

150

3   unidades


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