TN
La fuente utiliza un imán permanente para generar un campo magnético divergente con un gran gradiente a lo largo de la dirección axial cerca del ánodo, y bajo la acción de la corriente anular de Hall, los iones se aceleran a lo largo de la dirección axial para formar un haz de iones.Por lo tanto, esta fuente a menudo se denomina fuente de iones Hall.
Función del producto:
1. Mejorar la fuerza de unión de la capa de película:
2. Reducir la absorción:
3. Mejorar la densidad de la capa de película:
Características:
1. Baja energía 2. Alta densidad de corriente del haz de iones 3. Área uniforme grande 4. Facilidad de uso 5. Alta rentabilidad.
Parámetros técnicos:
Descargar Voltaje | 100--200 (V) |
Descargar actual | 0--3 (A) |
Aplicable gabinete | Ø600 (mm, máx.) |
La fuente utiliza un imán permanente para generar un campo magnético divergente con un gran gradiente a lo largo de la dirección axial cerca del ánodo, y bajo la acción de la corriente anular de Hall, los iones se aceleran a lo largo de la dirección axial para formar un haz de iones.Por lo tanto, esta fuente a menudo se denomina fuente de iones Hall.
Función del producto:
1. Mejorar la fuerza de unión de la capa de película:
2. Reducir la absorción:
3. Mejorar la densidad de la capa de película:
Características:
1. Baja energía 2. Alta densidad de corriente del haz de iones 3. Área uniforme grande 4. Facilidad de uso 5. Alta rentabilidad.
Parámetros técnicos:
Descargar Voltaje | 100--200 (V) |
Descargar actual | 0--3 (A) |
Aplicable gabinete | Ø600 (mm, máx.) |
