| Estado de Disponibilidad: | |
|---|---|
| Cantidad: | |
TN
Fuente de plasma para recubridor de iones de arco múltiple
| Cavidad | PBN(N)2/H2)、Cuarzo(O2/H2) |
| Brida | ICF114(CF63) |
| Estructura de refrigeración por agua | Tener |
| Poder maximo | 600W |
| Frecuencia de ocurrencia | 13,56MHz |
| Brida de entrada de gas | ICF34(CF16) |
Fuente de plasma para recubridor de iones de arco múltiple
| Cavidad | PBN(N)2/H2)、Cuarzo(O2/H2) |
| Brida | ICF114(CF63) |
| Estructura de refrigeración por agua | Tener |
| Poder maximo | 600W |
| Frecuencia de ocurrencia | 13,56MHz |
| Brida de entrada de gas | ICF34(CF16) |