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Fuente de alimentación de alto voltaje RF para recubridor por pulverización catódica con magnetrón

Fuente de alimentación de alto voltaje RF para recubridor por pulverización catódica con magnetrón
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  • TN

El generador de RF de estado sólido, adopta la última tecnología.  de amplificador de potencia y módulo de CC, que prometen al generador una salida de potencia de RF estable y una larga vida útil.

La unidad de coincidencia automática del generador de RF incorpora la plataforma macthing de red digital más avanzada.Puede hacer coincidir la compleja impedancia del plasma con su rango de giro de una manera rápida, precisa y repetible.

En comparación con los métodos tradicionales de sintonización analógica, los lagoritmos de sintonización digital y los controladores de motor paso a paso producen respuestas más rápidas, más precisas y altamente repetibles que siempre coinciden con el punto de impedancia de la carga.

Los componentes de alta calidad y baja cantidad maximizan la confiabilidad del generador de RF y su larga vida útil.

Pantalla LCD y se puede utilizar directamente en el panel de control, mejora la eficiencia y el costo de capacitación.

Modelo

AGM-1303

Producción   fuerza

5W-300W

Max.reflejado   fuerza

100W

Fuerza   precisión

±0,1%

armónico   componente

≤-50dbc

Fuerza   Suministrar

Soltero   fase187V-253V, 50/60HZ

en general   eficiencia

≥70%

fuerza   factor

≥90%

Máx.   Potencia de transmisión del partido

500w

Potencia reflejada (máx.   fuerza)

<3 semanas

Máx.   corriente de carga

30BRAZOS

Máx.   voltaje de carga

7500VRMS

RF   conector de salida

50 Ω,   L29,personalizable

Fósforo   tiempo

1~3s

Emparejable   rango de impedancia real

0~80Ω

Emparejable   rango de impedancia de parte imaginaria

﹣200j~ ﹢200j

Enfriamiento   Tipo

fuerza-aire   enfriamiento

Total   Peso

19,5 kilos

En general   tamaño

133   mm (alto)×440 mm (ancho)×410 mm (profundidad)


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