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1 fuente de pulverización de magnetrón con cabezal flexible para recubridor de pulverización de RF y CC DIY para recubridor de pulverización de magnetrón

1 fuente de pulverización de magnetrón con cabezal flexible para recubridor de pulverización de RF y CC DIY para recubridor de pulverización de magnetrón

El TN-HVMSS-SPC-1-LD es una pistola de pulverización catódica con magnetrón con un cabezal flexible capaz de acomodar una amplia gama de fuentes de pulverización catódica de 1' de diámetro. Su compatibilidad con fuentes de alimentación CC, CC pulsada y RF garantiza la máxima versatilidad y extiende su uso para varios objetivos de farfulla

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Modelo:
TN-HVMSS-SPC-1-LD
Marca del producto:
TN

Descripción del Producto

El TN-HVMSS-SPC-1-LD es una pistola de pulverización catódica con magnetrón con un cabezal flexible capaz de acomodar una amplia gama de fuentes de pulverización catódica de 1' de diámetro. Su compatibilidad con fuentes de alimentación CC, CC pulsada y RF garantiza la máxima versatilidad y extiende su uso para diversos objetivos de pulverización (por ejemplo, metálicos, eléctricamente aislantes, magnéticos o no magnéticos, etc.) Además, su diseño de alto vacío hace que el uso de argón bajo niveles de baja presión mejore la calidad del recubrimiento al reducir las colisiones de gases dentro del cámara.

En el diseño se implementan imanes circulares de tierras raras Nd-Fe-B aislados del agua de refrigeración para minimizar las interfaces agua-vacío que normalmente se encuentran en otras fuentes de pulverización catódica.Estos imanes son reemplazables en campo y hacen que la pistola de pulverización sea fácil de operar y mantener.La instalación de este aparato es sencilla y también ofrece cambios de objetivo sencillos que no requieren ningún enlace de objetivo.

ESPECIFICACIONES

Características	Alta intensidad de campo y perfil de campo uniforme logrado mediante el uso de cálculos electromagnéticos de elementos finitos en el diseño del conjunto magnético permanente Cabezal de pulverización catódica de baja impedancia y conector RF estándar fácilmente Combina e interactúa con una amplia gama de potencia de pulverización catódica de CC y RF. suministros. Fácil instalación con herramientas comunes. Los imanes están aislados del agua de refrigeración con la protección Recubrimiento contra la corrosión para maximizar la durabilidad. La fuente de pulverización se puede hornear hasta 200 °C. Placa de respaldo de cobre de 1' (EQ-CBP-1) está incluido. Eje estándar de ¾' de diámetro exterior Acepta objetivos de 1/8' (3 mm) de espesor; 1 pieza de objetivo de cobre es incluido como accesorio estándar
Pistola de pulverización	Cabezal de pulverización Diámetro: 1,82' (46,3 mm) Diámetro objetivo: 1,0 ± 0,02' (25,4 mm) Espesor máximo del objetivo: 1/8' (3mm) Imanes: Imán de tierras raras de NdFeB Diámetro del eje: 3/4' DE
Conector eléctrico	Conector de cable estándar SL16 (Imagen 1) Cable RF opcional de 148 cm con conector SL6 (haga clic en la Imagen 2 para realizar el pedido)
Requisitos de energía	CC (máx.) 250 W RF (máx.)100 W
Corriente de farfulla catódica	3 amperios (máx.)
Voltaje de pulverización catódica	200 - 1.000 voltios
Rango de presión de funcionamiento	~1 mTorr a 1 Torr
Curva de uniformidad del espesor de pulverización catódica	NOTA: El gráfico de espesor de película normalizado Lo anterior se obtuvo depositando una película de ~ 200 nm de espesor con un PVD HV Pistola de pulverización magnetrón que utiliza un objetivo de Cu de 1 pulgada.Las medidas fueron Se realiza utilizando una sonda de 4 puntos en dos direcciones mutuamente perpendiculares (X, Y) a través de la superficie de la oblea.La película se depositó sobre una superficie oxidada. Oblea de Si no giratoria en las siguientes condiciones: 1. 150 vatios CC en 10 mTorr (Ar) 2. Distancia de 3 pulgadas (75 mm) desde el objetivo al sustrato
Refrigeración por agua (requerida)	Requisito de caudal: 1/2 GPM, filtrado Temperatura de entrada de agua: <20ºC Conexión de agua: 0,25' de diámetro exterior desconexiones rápidas
Accesorios eléctricos y de montaje	Conector eléctrico: Tipo HN estándar (CC y RF) Se incluye desconexión rápida de alto vacío.Alto vacío Rápido Desconectar con ID de 0,75' (compatible con HVMSS-SPC-1-LD). Utilice este componente para instalar la herramienta de pulverización catódica HVMSS-SPC-1-LD en el placa base (hasta 1' de espesor) de una cámara de vacío con 1' de diámetro a través del orificio
Brida de vacío con paso (Opcional)	Brida CF de 6' con alto El paso de vacío está disponible a pedido por un costo adicional.El El cabezal de pulverización se puede instalar fácilmente en la brida de vacío CF de 6'' a través de la pinza de vacío rápida.La posición de altura de la pistola de pulverización se puede ajustar manualmente. ajustado dentro de la cámara de vacío.
Longitud total	14 pulgadas
Peso neto	3 libras
Conjunto de inclinación	El cabezal de pulverización se puede inclinar +/- 45 grados para ajustar la Ángulo de incidencia de los bombardeos para mejorar el rendimiento de la pulverización catódica. Las líneas trazadas en el conjunto de inclinación ofrecen ajustes de ángulo precisos.
Accesorios Opcionales	Temperatura digital Enfriador de agua de circulación controlada con tanque de 6 litros, flujo de 16 l/min está disponible por un costo adicional, por favor ordenar por separado. MTI ofrece diversos accesorios de pulverización diseñados para ser utilizados con la pistola de pulverización catódica con magnetrón HVMSS-SPC-1 para Clientes interesados en crear pulverización catódica con magnetrón DIY personalizada. Recubridores: