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2 Fuente de pulverización catódica de magnetrón de alto vacío con cabezal flexible y conector rápido

2 Fuente de pulverización catódica de magnetrón de alto vacío con cabezal flexible y conector rápido

El TN-HVMSS-SPC-2 es una pistola de pulverización catódica con magnetrón circular de 2' de diámetro que puede adaptarse a una amplia gama de objetivos de pulverización, como metales/aislantes o magnéticos-magnéticos.

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Modelo:
TN-HVMSS-SPC-2
Marca del producto:
TN

Descripción del Producto

El TN-HVMSS-SPC-2 es una pistola de pulverización catódica con magnetrón circular de 2' de diámetro que puede adaptarse a una amplia gama de objetivos de pulverización, como metálicos/aislantes o magnéticos-magnéticos. El imán permanente circular de tierras raras NdFeB se implementa para Garantiza una excelente uniformidad de la película y utilización del objetivo. Esta pistola de pulverización catódica es fácil de operar y mantener. La instalación es sencilla y puede funcionar con una fuente de alimentación de CC o RF.

ESPECIFICACIONES:

Características	El cabezal de pulverización se puede inclinar +/- 25 grados para ajustar la Ángulo de incidencia de los bombardeos para mejorar el rendimiento de la pulverización catódica. Fabricado con materiales de alta calidad de acero inoxidable y cerámica. En el diseño se utilizan cálculos electromagnéticos de elementos finitos. del conjunto magnético permanente para lograr una alta intensidad de campo y perfil de campo uniforme. El imán está recubierto con un material protector contra el agua de refrigeración. corrosión para maximizar la durabilidad. Conector RF estándar, que coincide con una amplia gama de CC y RF. fuentes de alimentación chisporroteantes. Los cabezales de pulverización catódica de baja impedancia se pueden conectar fácilmente con una fuente de alimentación externa. Fácil de instalar, un accesorio estándar con conector rápido incluido. conector Placa de respaldo de cobre de 2' (EQ-CBP-2) está incluido. El reemplazo del objetivo es fácil y no es necesario ajustar la pistola para que encaje. objetivos con diferente altura.
Requisitos de energía	CC (máx.) 500 W RF (máx.) 300W
Tipo de conexión eléctrica	Conector de cable estándar SL16 (Imagen 1) Cable RF opcional de 148 cm con conector SL6 (haga clic en la Imagen 2 para realizar el pedido)
Corriente de pulverización (máx.)	5 amperios
Voltaje de pulverización	200-1000V
Presión de pulverización	1-1000 mTorr
Dimensions	Diámetro del escudo del ánodo: 86 mm
Objetivo de chisporroteo	Diámetro: 2,0' (50,8 mm), Espesor: hasta 1/4' para objetivos no magnéticos; hasta a 1/16' para objetivo magnético Utilización: hasta 30% Imán: Imán de tierras raras de NdFeB
Requisito de agua de refrigeración	Tasa de flujo: 0,8 GPM, filtrado Temperatura de entrada de agua: <20ºC Tubería de agua: Desconexión rápida de 6 mm.
Montaje	Alimentación: Tubo de 3/4' de diámetro exterior
Peso neto	3,5 libras
Accesorios	Se incluye conector rápido de alto vacío con ID de 0,75'. este componente para instalar la fuente de pulverización catódica en la placa base (hasta a 1' de espesor) de una cámara de vacío con orificio pasante de 1' de diámetro en fácil ( haga clic en la imagen de abajo a la izquierda para ver los detalles) La brida CF de 6' con paso de alto vacío es Disponible a pedido por un costo adicional.El cabezal de pulverización puede ser fácilmente instalado en la brida de vacío CF de 6'' a través del seccionador rápido. La posición de altura de la pistola de pulverización se puede ajustar manualmente. dentro de la cámara de vacío. (Por favor, haga clic en la imagen debajo de 3 y 4 para ver detalle) Enfriador de agua circulante con control de temperatura digital con Tanque de 6 litros, flujo de 16 l/min está disponible a un costo adicional, haga clic la imagen de abajo a la derecha para realizar el pedido.