TN
Etapa de muestra de 5 ejes PLD
Parámetro del producto:
Objeto de conducción | Longitud del viaje | Tipo |
X | ±10,0 mm | Manual o controlado por motor |
Y | ±10,0 mm | Manual o controlado por motor |
Z | 0~100 mm | Manual o controlado por motor |
Rotación del plano | Infinito, ajustable velocidad | Manual o controlado por motor |
Rotación del eje | ±180° | Manual o controlado por motor |
Tamaño del sustrato | Φ20-60mm | |
Modo calefacción | SiC, resistencia al oxígeno | |
Temperatura de calentamiento | >900 ℃, temperatura diferencia < 1 ℃ | |
Deflector | Alternativa | |
Brida | ICF152（CF100） | |
Etapa de muestra de 5 ejes PLD
Parámetro del producto:
Objeto de conducción | Longitud del viaje | Tipo |
X | ±10,0 mm | Manual o controlado por motor |
Y | ±10,0 mm | Manual o controlado por motor |
Z | 0~100 mm | Manual o controlado por motor |
Rotación del plano | Infinito, ajustable velocidad | Manual o controlado por motor |
Rotación del eje | ±180° | Manual o controlado por motor |
Tamaño del sustrato | Φ20-60mm | |
Modo calefacción | SiC, resistencia al oxígeno | |
Temperatura de calentamiento | >900 ℃, temperatura diferencia < 1 ℃ | |
Deflector | Alternativa | |
Brida | ICF152（CF100） | |
