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1 fuente de pulverización de magnetrón con conector rápido de alto vacío para recubridor de pulverización de magnetrón

1 fuente de pulverización de magnetrón con conector rápido de alto vacío para recubridor de pulverización de magnetrón

El TN-HVMSS-SPC-1 es una pistola de pulverización catódica con magnetrón con cabezal recto, capaz de admitir una amplia gama de fuentes de pulverización catódica de 1' de diámetro. Su compatibilidad con fuentes de alimentación de CC, CC pulsada y RF garantiza la máxima versatilidad y extiende su uso a varios objetivos de pulverización catódica

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Modelo:
TN-HVMSS-SPC-1
Marca del producto:
TN

Descripción del Producto

El TN-HVMSS-SPC-1 es una pistola de pulverización catódica con magnetrón con cabezal recto, capaz de admitir una amplia gama de fuentes de pulverización catódica de 1' de diámetro. Su compatibilidad con fuentes de alimentación de CC, CC pulsada y RF garantiza la máxima versatilidad y extiende su uso a diversos objetivos de pulverización (por ejemplo, metálicos, eléctricamente aislantes, magnéticos o no magnéticos, etc.). Se incluye un accesorio de conector rápido para que la instalación de este aparato sea sencilla y también ofrece cambios de objetivo simples que no requieren ninguna unión de objetivo.

ESPECIFICACIONES

Características	Alta intensidad de campo y perfil de campo uniforme logrado mediante el uso de cálculos electromagnéticos de elementos finitos en el diseño del conjunto magnético permanente Cabezal de pulverización catódica de baja impedancia y conector RF estándar fácilmente Combina e interactúa con una amplia gama de dispositivos de pulverización catódica de CC y RF. fuentes de alimentación. Fácil instalación con herramientas comunes. Los imanes están aislados del agua de refrigeración con una protección. Recubrimiento contra la corrosión para maximizar la durabilidad. Placa de respaldo de cobre de 1' (EQ-CBP-1) está incluido. La fuente de pulverización se puede hornear hasta 200°C. Eje estándar de ¾' de diámetro exterior Acepta objetivos de 1/8' (3 mm) de espesor; 1 pieza del objetivo de cobre es incluido como accesorio estándar
Pistola de pulverización	Cabezal de pulverización Diámetro: 1,82' (46,3 mm) Diámetro objetivo: 1,0 ± 0,02' (25,4 mm) Espesor máximo del objetivo: 1/8' (3mm) Imanes: Imán de tierras raras de NdFeB Diámetro del eje: 3/4' DE
Conector eléctrico	Conector de cable estándar SL16 (Imagen 1) Cable RF opcional de 148 cm con conector SL6 (haga clic en la Imagen 2 para realizar el pedido)
Requisitos de energía	CC (máx.) 250W RF (máx.) 100 vatios
Corriente de farfulla catódica	3 amperios (máx.)
Voltaje de pulverización catódica	200 - 1.000 voltios
Rango de presión de funcionamiento	~1 mTorr a 1 Torr
Espesor de pulverización Curva de uniformidad	NOTA: El gráfico de espesor de película normalizado anterior se obtuvo de depositar una película de ~ 200 nm de espesor con una pistola de pulverización catódica PVD HV Magnetron utilizando un objetivo de Cu de 1 pulgada.Las mediciones se realizaron utilizando un instrumento de 4 puntos. sonda en dos direcciones mutuamente perpendiculares (X, Y) a través de la oblea superficie.La película se depositó sobre una oblea de Si oxidada y no giratoria. bajo las siguientes condiciones: 150 vatios CC en 10 mTorr (Ar) La distancia de 3 pulgadas (75 mm) desde el objetivo al sustrato.
Refrigeración por agua (requerida)	Requisito de caudal: 1/2 GPM, filtrado Temperatura de entrada de agua: <20ºC Conexión de agua: 0,25' de diámetro exterior Tubo. Infórmenos el tamaño del tubo de su enfriador de agua, podemos Preinstale el accesorio por un coste adicional.
Accesorios eléctricos y de montaje	Conector eléctrico: Tipo HN estándar (CC y RF) El conector rápido de alto vacío está preinstalado para una limpieza inmediata. uso, que puede instalar la fuente de pulverización catódica en el placa base (hasta 1' de espesor) de una cámara de vacío con 1' de diámetro agujero pasante fácilmente.
Brida de vacío con paso (Opcional)	Brida CF de 6' con alto El paso de vacío está disponible a pedido por un costo adicional.El El cabezal de pulverización se puede instalar fácilmente en la brida de vacío CF de 6'' a través de el seccionador rápido.La posición de altura de la pistola de pulverización puede ser ajustado manualmente dentro de la cámara de vacío.
Objetivo de pulverización de plasma	Placa de respaldo de cobre de 1' (EQ-CBP-1) está incluido. Haga clic para pedir otro diámetro de 1'. Objetivo de pulverización de plasma
Longitud total	14 pulgadas
Peso neto	3 libras
Accesorios Opcionales	Enfriador de agua de recirculación con control de temperatura digital con 6 Tanque de litros, flujo de 16 l/min está disponible a un costo adicional, por favor ordene por separado, haga clic en la imagen de abajo a la izquierda para realizar el pedido. MTI ofrece fuente de alimentación de CC y RF, así como una cámara de vacío Para sistema de pulverización DIY (haga clic en la imagen a continuación para realizar el pedido)