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Nuestra máquina de horno tubular PECVD giratorio vertical deslizante de alta temperatura es un equipo de última generación diseñado para cumplir con los exigentes requisitos de estas industrias.
Esta máquina utiliza la técnica PECVD para depositar películas delgadas de alta calidad con una uniformidad y adhesión excepcionales.Con su diseño giratorio deslizante vertical, ofrece mayor flexibilidad y eficiencia en el proceso de deposición.La función de deslizamiento vertical permite una fácil carga y descarga de sustratos, minimizando el tiempo de inactividad y maximizando la productividad.
El horno es capaz de alcanzar altas temperaturas de hasta [insertar rango de temperatura] con un control de temperatura preciso.Esto garantiza las condiciones óptimas para la deposición de la película, lo que da como resultado una calidad y un rendimiento superiores de la película.El movimiento giratorio mejora aún más la uniformidad de la película al permitir una distribución uniforme de los gases precursores a través de la superficie del sustrato.
Equipada con tecnología avanzada de generación de plasma, nuestra máquina de horno tubular PECVD garantiza una excitación de plasma eficiente, lo que mejora las propiedades de la película y reduce los defectos.El plasma mejora las reacciones químicas, lo que da como resultado una mejor densidad, dureza y adhesión de la película.Esto lo convierte en una opción ideal para aplicaciones que requieren películas delgadas de alto rendimiento.
La máquina está equipada con un panel de control fácil de usar, que permite una fácil operación y seguimiento del proceso de deposición.Ofrece varios parámetros programables, como tiempo de deposición, temperatura, caudales de gas y presión, lo que permite un control preciso y la personalización de las propiedades de la película.
Además, nuestra máquina de horno tubular PECVD está diseñada con características de seguridad para garantizar la protección del operador y minimizar el riesgo de accidentes.Está construido con materiales y componentes de alta calidad, garantizando durabilidad y confiabilidad a largo plazo.
En general, nuestra máquina de horno tubular PECVD giratorio vertical deslizante de alta temperatura es una solución de vanguardia para la deposición de películas delgadas en la industria electrónica.Ofrece rendimiento superior, flexibilidad y facilidad de uso, lo que la convierte en una herramienta esencial para laboratorios de investigación, universidades e instalaciones de producción.Invierta en nuestra máquina de horno tubular PECVD para lograr una calidad excepcional de película delgada y acelerar sus procesos de investigación y desarrollo.
Parámetros técnicos
Horno tubular de zona de temperatura dual | Modelo del Producto | CY-O1200-60IIC-R |
Potencia del equipo | 3kW | |
Material del tubo del horno | Cuarzo de alta pureza | |
Tamaño del tubo del horno | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm (tubo heteromórfico de cuarzo) | |
Longitud de la cámara del horno | 440 mm | |
Longitud de la zona de calentamiento | 200mm+200mm | |
Temperatura de funcionamiento | 0~1150℃ | |
Temperatura límite | 1200℃ | |
Precisión del control de temperatura | ±1℃ | |
Tipo de termopar | Termopar tipo K | |
Modo de control de temperatura | Control de temperatura del programa de 30 segmentos, autoajuste de parámetros PID | |
Modo de visualización | Pantalla táctil LCD HD a todo color | |
Método de sellado | Brida de vacío de acero inoxidable 304 | |
Fuente de alimentación | CA: 220 V 50/60 Hz | |
Velocidad de rotación | 0~13rpm | |
Ángulo de inclinación | 0~35° | |
Medidor de flujo másico de 3 canales | Modelo del Producto | CY-3Z |
Número de rutas de gas | 3 canales | |
Tipo de caudalímetro | Medidor de flujo de masa | |
Rango de medición | Un canal: 0~100sccm;Canal B: 0~200 sccm;Canal C: 0~500 sccm | |
Precisión de la medición | ±1,5% | |
Diferencia de presión de trabajo | 0,1 ~ 0,5 MPa | |
Interfaz de tubería | Conector de virola de 1/4 de pulgada | |
Fuente de alimentación | CA 220 V 50/60 Hz. | |
Sistema de vacío | Bomba aspiradora | Bomba de paletas rotativa de dos etapas |
Velocidad de bombeo | 1,1 l/s | |
Puerto de bombeo | KF16 | |
Bomba de vacío final | 10E-1Pa | |
Fuente de alimentación | CA 220 V 50/60 Hz. | |
fuente de alimentación de radiofrecuencia | Frecuencia de señal | 13,56MHz±0,005% |
Rango de salida de potencia | 0~500W | |
Potencia máxima reflejada | 100W | |
Interfaz de salida RF | 50Ω, tipo N, hembra | |
Estabilidad de poder | ≤5W |
Nuestra máquina de horno tubular PECVD giratorio vertical deslizante de alta temperatura es un equipo de última generación diseñado para cumplir con los exigentes requisitos de estas industrias.
Esta máquina utiliza la técnica PECVD para depositar películas delgadas de alta calidad con una uniformidad y adhesión excepcionales.Con su diseño giratorio deslizante vertical, ofrece mayor flexibilidad y eficiencia en el proceso de deposición.La función de deslizamiento vertical permite una fácil carga y descarga de sustratos, minimizando el tiempo de inactividad y maximizando la productividad.
El horno es capaz de alcanzar altas temperaturas de hasta [insertar rango de temperatura] con un control de temperatura preciso.Esto garantiza las condiciones óptimas para la deposición de la película, lo que da como resultado una calidad y un rendimiento superiores de la película.El movimiento giratorio mejora aún más la uniformidad de la película al permitir una distribución uniforme de los gases precursores a través de la superficie del sustrato.
Equipada con tecnología avanzada de generación de plasma, nuestra máquina de horno tubular PECVD garantiza una excitación de plasma eficiente, lo que mejora las propiedades de la película y reduce los defectos.El plasma mejora las reacciones químicas, lo que da como resultado una mejor densidad, dureza y adhesión de la película.Esto lo convierte en una opción ideal para aplicaciones que requieren películas delgadas de alto rendimiento.
La máquina está equipada con un panel de control fácil de usar, que permite una fácil operación y seguimiento del proceso de deposición.Ofrece varios parámetros programables, como tiempo de deposición, temperatura, caudales de gas y presión, lo que permite un control preciso y la personalización de las propiedades de la película.
Además, nuestra máquina de horno tubular PECVD está diseñada con características de seguridad para garantizar la protección del operador y minimizar el riesgo de accidentes.Está construido con materiales y componentes de alta calidad, garantizando durabilidad y confiabilidad a largo plazo.
En general, nuestra máquina de horno tubular PECVD giratorio vertical deslizante de alta temperatura es una solución de vanguardia para la deposición de películas delgadas en la industria electrónica.Ofrece rendimiento superior, flexibilidad y facilidad de uso, lo que la convierte en una herramienta esencial para laboratorios de investigación, universidades e instalaciones de producción.Invierta en nuestra máquina de horno tubular PECVD para lograr una calidad excepcional de película delgada y acelerar sus procesos de investigación y desarrollo.
Parámetros técnicos
Horno tubular de zona de temperatura dual | Modelo del Producto | CY-O1200-60IIC-R |
Potencia del equipo | 3kW | |
Material del tubo del horno | Cuarzo de alta pureza | |
Tamaño del tubo del horno | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm (tubo heteromórfico de cuarzo) | |
Longitud de la cámara del horno | 440 mm | |
Longitud de la zona de calentamiento | 200mm+200mm | |
Temperatura de funcionamiento | 0~1150℃ | |
Temperatura límite | 1200℃ | |
Precisión del control de temperatura | ±1℃ | |
Tipo de termopar | Termopar tipo K | |
Modo de control de temperatura | Control de temperatura del programa de 30 segmentos, autoajuste de parámetros PID | |
Modo de visualización | Pantalla táctil LCD HD a todo color | |
Método de sellado | Brida de vacío de acero inoxidable 304 | |
Fuente de alimentación | CA: 220 V 50/60 Hz | |
Velocidad de rotación | 0~13rpm | |
Ángulo de inclinación | 0~35° | |
Medidor de flujo másico de 3 canales | Modelo del Producto | CY-3Z |
Número de rutas de gas | 3 canales | |
Tipo de caudalímetro | Medidor de flujo de masa | |
Rango de medición | Un canal: 0~100sccm;Canal B: 0~200 sccm;Canal C: 0~500 sccm | |
Precisión de la medición | ±1,5% | |
Diferencia de presión de trabajo | 0,1 ~ 0,5 MPa | |
Interfaz de tubería | Conector de virola de 1/4 de pulgada | |
Fuente de alimentación | CA 220 V 50/60 Hz. | |
Sistema de vacío | Bomba aspiradora | Bomba de paletas rotativa de dos etapas |
Velocidad de bombeo | 1,1 l/s | |
Puerto de bombeo | KF16 | |
Bomba de vacío final | 10E-1Pa | |
Fuente de alimentación | CA 220 V 50/60 Hz. | |
fuente de alimentación de radiofrecuencia | Frecuencia de señal | 13,56MHz±0,005% |
Rango de salida de potencia | 0~500W | |
Potencia máxima reflejada | 100W | |
Interfaz de salida RF | 50Ω, tipo N, hembra | |
Estabilidad de poder | ≤5W |
