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El PECVD giratorio de zona de calentamiento única, equipado con alimentador automático de vacío y una interfaz KF40 reservada al final del tubo del horno, se puede conectar al tanque receptor.El alimentador adopta alimentación por tornillo, el polvo se puede introducir en el tubo del horno a una velocidad nominal y la velocidad de alimentación se puede cambiar ajustando la velocidad de rotación.Puede realizar el recubrimiento continuo y la modificación de materiales en polvo mediante el método PECVD en un entorno de protección atmosférica.El tanque receptor puede recolectar el polvo procesado bajo un ambiente de protección atmosférica.
El equipo está equipado con una potencia de RF de 100W a 13,56MHz.Puede generar plasma al vacío.El plasma de alta energía puede activar la superficie de la muestra, mejorar eficazmente el efecto de la reacción y aumentar la velocidad de reacción.Este método auxiliar se utiliza ampliamente en experimentos científicos como la preparación de grafeno y el recubrimiento de partículas.
Este equipo es especialmente adecuado para experimentos con muestras granulares.A través de la transmisión mecánica, puede controlar la rotación continua del tubo de trabajo 360° con velocidad de rotación ajustable, de modo que los materiales en el tubo se agiten y mezclen continuamente, y entren completamente en contacto con el gas y el plasma, para que la reacción de la muestra es más uniforme y estable.
Parámetros técnicos：
fuente de alimentación de radiofrecuencia | Producción Fuerza | 150W |
Producción exactitud | ±1% | |
RF frecuencia | 13,56MHz | |
RF estabilidad | ±0,005% | |
Enfriamiento método | Aire acondicionado | |
1200 ℃ individual horno tubular de zona de calentamiento | Suministrar Voltaje | CA 220 V, 50 Hz. |
Máximo fuerza | 2kW | |
Calefacción zona | Soltero zona de calentamiento 200 mm | |
Laboral temperatura | Máximo 1200 ℃, la temperatura de funcionamiento continuo debe ser ≤1100 ℃ | |
Temperatura exactitud | ± 1℃ | |
Temperatura método de control | AI-PID Curva de proceso de 30 etapas, puede almacenar múltiples Tres Control independiente de la zona de temperatura, con sobrecalentamiento y falla del termopar. proteccion | |
Horno material del tubo | Alto cuarzo pureza | |
Horno tamaño del tubo | Día. 50x800mm | |
Sellando método | Vacío brida de acero inoxidable, brida KF16 | |
Adjustable velocidad | 0-20 rpm | |
pendiente | 0-15° | |
Vacío bomba | Giratorio bomba mecanica de paletas | |
Último vacío | 1.0E-1Pa | |
Alimentación método | Vacío alimentación por embudo y tornillo |
El PECVD giratorio de zona de calentamiento única, equipado con alimentador automático de vacío y una interfaz KF40 reservada al final del tubo del horno, se puede conectar al tanque receptor.El alimentador adopta alimentación por tornillo, el polvo se puede introducir en el tubo del horno a una velocidad nominal y la velocidad de alimentación se puede cambiar ajustando la velocidad de rotación.Puede realizar el recubrimiento continuo y la modificación de materiales en polvo mediante el método PECVD en un entorno de protección atmosférica.El tanque receptor puede recolectar el polvo procesado bajo un ambiente de protección atmosférica.
El equipo está equipado con una potencia de RF de 100W a 13,56MHz.Puede generar plasma al vacío.El plasma de alta energía puede activar la superficie de la muestra, mejorar eficazmente el efecto de la reacción y aumentar la velocidad de reacción.Este método auxiliar se utiliza ampliamente en experimentos científicos como la preparación de grafeno y el recubrimiento de partículas.
Este equipo es especialmente adecuado para experimentos con muestras granulares.A través de la transmisión mecánica, puede controlar la rotación continua del tubo de trabajo 360° con velocidad de rotación ajustable, de modo que los materiales en el tubo se agiten y mezclen continuamente, y entren completamente en contacto con el gas y el plasma, para que la reacción de la muestra es más uniforme y estable.
Parámetros técnicos：
fuente de alimentación de radiofrecuencia | Producción Fuerza | 150W |
Producción exactitud | ±1% | |
RF frecuencia | 13,56MHz | |
RF estabilidad | ±0,005% | |
Enfriamiento método | Aire acondicionado | |
1200 ℃ individual horno tubular de zona de calentamiento | Suministrar Voltaje | CA 220 V, 50 Hz. |
Máximo fuerza | 2kW | |
Calefacción zona | Soltero zona de calentamiento 200 mm | |
Laboral temperatura | Máximo 1200 ℃, la temperatura de funcionamiento continuo debe ser ≤1100 ℃ | |
Temperatura exactitud | ± 1℃ | |
Temperatura método de control | AI-PID Curva de proceso de 30 etapas, puede almacenar múltiples Tres Control independiente de la zona de temperatura, con sobrecalentamiento y falla del termopar. proteccion | |
Horno material del tubo | Alto cuarzo pureza | |
Horno tamaño del tubo | Día. 50x800mm | |
Sellando método | Vacío brida de acero inoxidable, brida KF16 | |
Adjustable velocidad | 0-20 rpm | |
pendiente | 0-15° | |
Vacío bomba | Giratorio bomba mecanica de paletas | |
Último vacío | 1.0E-1Pa | |
Alimentación método | Vacío alimentación por embudo y tornillo |
