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TN-O1200-50IIT
TN
Este producto es un sistema de horno de tubo giratorio de doble zona de calentamiento con deposición físico-química de vapor híbrida mejorada con plasma de 1200 ℃.El equipo incluye un horno tubular de doble zona de calentamiento, un conjunto de fuente de evaporación de filamento de tungsteno, un conjunto de generador de plasma y un conjunto de sistema de caudalímetro másico.Su principio de funcionamiento es evaporar el reactivo en el extremo de entrada de gas a través de la fuente de evaporación y cargarlo en la zona de calentamiento del horno tubular a través del flujo de aire para llevar a cabo la reacción CVD.Al mismo tiempo, la reacción se ve favorecida por la mejora del plasma.Es adecuado para el tratamiento térmico de polvo compuesto inorgánico y la uniformidad del recubrimiento de la superficie (por ejemplo, preparar polvos catódicos de baterías de iones de litio con recubrimientos conductores en la superficie de la muestra).
Parámetros técnicos:
Dos horno tubular de zona de calentamiento | Producto modelo | TN-O1200-50IIT | |
Horno material del tubo | Alto cuarzo pureza | ||
Tubo diámetro | 50mm | ||
Horno longitud del tubo | 1200 mm | ||
Horno longitud de la cámara | 440 mm | ||
Calefacción longitud de la zona | 200mm+200mm | ||
Operando temperatura | 0~1100℃ | ||
Temperatura precisión del control | ±1℃ | ||
Temperatura modo de control | 30 o control de temperatura del programa de 50 segmentos | ||
Mostrar modo | alta definición pantalla táctil LCD a todo color | ||
Sellando método | 304 brida de vacío de acero inoxidable | ||
Fuerza suministrar | C.A: 220V 50/60Hz 2.5kw | ||
RF sistema de salida | Fuerza rango | 0~500W ajustable | |
laboral frecuencia | 13,56MHz+0,005% | ||
Laboral modo | Continuo producción | ||
emparejado modo de impedancia | Él Se puede combinar y el brillo se distribuye uniformemente por todo el horno. tubo | ||
Fuerza estabilidad | ≤2W | ||
Normal potencia reflejada de trabajo | ≤3W | ||
Amplificado poder reflejado | ≤70W | ||
Armónico componente | ≤-50 dBc | ||
En general eficiencia | ≥70% | ||
Fuerza Factor | ≥90% | ||
Suministrar tensión/frecuencia | Fase única Frecuencia CA (187 V ~ 153 V) 50/60 Hz | ||
Control modo | Interno control/PLC cantidad analógica/RS232/485 comunicación | ||
Fuerza configuración de protección | corriente continua Protección contra sobrecorriente, protección contra sobrecalentamiento del amplificador de potencia, protección de energía reflejada | ||
Enfriamiento método | Forzado aire acondicionado | ||
Brillo zona | Bajo Ar, la fuente de alimentación de radiofrecuencia y la bobina cooperan con el brillo para llenar el tubo del horno | ||
Evaporación bote | Laboral temperatura | 1300℃ | |
Evaporación fuente | Tungsteno cesta de alambre, crisol de alúmina cónico opcional | ||
Par termoeléctrico | S tipo termopar | ||
Laboral actual | ≤30A | ||
Máx. fuerza | 500W | ||
Gas sistema de entrega | Medidor de corriente | Cuatro canales medidor de flujo de masa | |
Fluir rango | MFC1 rango: 0~200sccm Rango MFC2: 0~200sccm MFC3 rango: 0~500sccm Rango MFC4: 0~500sccm Correspondiente a los gases H2, CH4, N2, Ar. | ||
Medición exactitud | ±1,5% FS | ||
Repetibilidad | ±0,2% FS | ||
Precisión lineal | ±1% FS | ||
Tiempo de respuesta | ≤4s | ||
Presión de trabajo | -0,15 MPa ~ 0,15 MPa | ||
Fluir control | LCD control de pantalla táctil, pantalla digital, cada canal de gas contiene válvula de aguja para control individual. | ||
Consumo Interfaz | Él Se puede conectar con tubería de acero inoxidable de 1/4NPS o 6 mm de diámetro exterior. | ||
Salida Interfaz | Él Se puede conectar con tubería de acero inoxidable de 1/4NPS o 6 mm de diámetro exterior. | ||
Conexión método | Doble conector de virola | ||
Operando temperatura | 5~45℃ | ||
Gas premezcla | Equipado con dispositivo de premezcla de gas | ||
Escape sistema | Producto modelo | CY-GZK103-A | |
Molecular bomba | turbomolecular bomba | ||
Apoyo bomba | Dos etapas bomba de paletas rotativas | ||
Bombeo tasa | Molecular bomba: 600L/S | Integral Rendimiento de bombeo: 30 minutos El vacío puede alcanzar: 5×10E-3Pa | |
Giratorio bomba de paletas: 1.1L/S | |||
Último vacío | 5×10E-4Pa | ||
Bombeo puerto | KF40 | ||
Escape interfaz | KF16 | ||
Vacío medición | Compuesto indicador de vacio | ||
Este producto es un sistema de horno de tubo giratorio de doble zona de calentamiento con deposición físico-química de vapor híbrida mejorada con plasma de 1200 ℃.El equipo incluye un horno tubular de doble zona de calentamiento, un conjunto de fuente de evaporación de filamento de tungsteno, un conjunto de generador de plasma y un conjunto de sistema de caudalímetro másico.Su principio de funcionamiento es evaporar el reactivo en el extremo de entrada de gas a través de la fuente de evaporación y cargarlo en la zona de calentamiento del horno tubular a través del flujo de aire para llevar a cabo la reacción CVD.Al mismo tiempo, la reacción se ve favorecida por la mejora del plasma.Es adecuado para el tratamiento térmico de polvo compuesto inorgánico y la uniformidad del recubrimiento de la superficie (por ejemplo, preparar polvos catódicos de baterías de iones de litio con recubrimientos conductores en la superficie de la muestra).
Parámetros técnicos:
Dos horno tubular de zona de calentamiento | Producto modelo | TN-O1200-50IIT | |
Horno material del tubo | Alto cuarzo pureza | ||
Tubo diámetro | 50mm | ||
Horno longitud del tubo | 1200 mm | ||
Horno longitud de la cámara | 440 mm | ||
Calefacción longitud de la zona | 200mm+200mm | ||
Operando temperatura | 0~1100℃ | ||
Temperatura precisión del control | ±1℃ | ||
Temperatura modo de control | 30 o control de temperatura del programa de 50 segmentos | ||
Mostrar modo | alta definición pantalla táctil LCD a todo color | ||
Sellando método | 304 brida de vacío de acero inoxidable | ||
Fuerza suministrar | C.A: 220V 50/60Hz 2.5kw | ||
RF sistema de salida | Fuerza rango | 0~500W ajustable | |
laboral frecuencia | 13,56MHz+0,005% | ||
Laboral modo | Continuo producción | ||
emparejado modo de impedancia | Él Se puede combinar y el brillo se distribuye uniformemente por todo el horno. tubo | ||
Fuerza estabilidad | ≤2W | ||
Normal potencia reflejada de trabajo | ≤3W | ||
Amplificado poder reflejado | ≤70W | ||
Armónico componente | ≤-50 dBc | ||
En general eficiencia | ≥70% | ||
Fuerza Factor | ≥90% | ||
Suministrar tensión/frecuencia | Fase única Frecuencia CA (187 V ~ 153 V) 50/60 Hz | ||
Control modo | Interno control/PLC cantidad analógica/RS232/485 comunicación | ||
Fuerza configuración de protección | corriente continua Protección contra sobrecorriente, protección contra sobrecalentamiento del amplificador de potencia, protección de energía reflejada | ||
Enfriamiento método | Forzado aire acondicionado | ||
Brillo zona | Bajo Ar, la fuente de alimentación de radiofrecuencia y la bobina cooperan con el brillo para llenar el tubo del horno | ||
Evaporación bote | Laboral temperatura | 1300℃ | |
Evaporación fuente | Tungsteno cesta de alambre, crisol de alúmina cónico opcional | ||
Par termoeléctrico | S tipo termopar | ||
Laboral actual | ≤30A | ||
Máx. fuerza | 500W | ||
Gas sistema de entrega | Medidor de corriente | Cuatro canales medidor de flujo de masa | |
Fluir rango | MFC1 rango: 0~200sccm Rango MFC2: 0~200sccm MFC3 rango: 0~500sccm Rango MFC4: 0~500sccm Correspondiente a los gases H2, CH4, N2, Ar. | ||
Medición exactitud | ±1,5% FS | ||
Repetibilidad | ±0,2% FS | ||
Precisión lineal | ±1% FS | ||
Tiempo de respuesta | ≤4s | ||
Presión de trabajo | -0,15 MPa ~ 0,15 MPa | ||
Fluir control | LCD control de pantalla táctil, pantalla digital, cada canal de gas contiene válvula de aguja para control individual. | ||
Consumo Interfaz | Él Se puede conectar con tubería de acero inoxidable de 1/4NPS o 6 mm de diámetro exterior. | ||
Salida Interfaz | Él Se puede conectar con tubería de acero inoxidable de 1/4NPS o 6 mm de diámetro exterior. | ||
Conexión método | Doble conector de virola | ||
Operando temperatura | 5~45℃ | ||
Gas premezcla | Equipado con dispositivo de premezcla de gas | ||
Escape sistema | Producto modelo | CY-GZK103-A | |
Molecular bomba | turbomolecular bomba | ||
Apoyo bomba | Dos etapas bomba de paletas rotativas | ||
Bombeo tasa | Molecular bomba: 600L/S | Integral Rendimiento de bombeo: 30 minutos El vacío puede alcanzar: 5×10E-3Pa | |
Giratorio bomba de paletas: 1.1L/S | |||
Último vacío | 5×10E-4Pa | ||
Bombeo puerto | KF40 | ||
Escape interfaz | KF16 | ||
Vacío medición | Compuesto indicador de vacio | ||
