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TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2
TN
Este equipo es un dispositivo de preparación de disulfuro de molibdeno de gran tamaño a nivel de oblea diseñado según los principios de CVD.Incluye un horno tubular de tres zonas, un horno tubular especialmente diseñado y un conjunto de circuitos de gas de soporte.El equipo puede liberar uniformemente el gas de reacción en el tubo del horno a través de una tubería especialmente diseñada para garantizar la consistencia y uniformidad del producto en la oblea trasera.Es la mejor opción para experimentos de preparación de disulfuro de molibdeno.
Parámetros técnicos:
Producto modelo | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
Horno material del tubo | Alto cuarzo pureza |
Horno tamaño del tubo | Externo tubo de cuarzo grande φ120mm x1000mm Interno tubo de cuarzo pequeño φ25mm x820mm x7 |
Temperatura longitud de la zona | Tres zona de calentamiento 200mm+200mm+200mm |
Temperatura precisión del control | ±1℃ |
Temperatura curva | Independiente Control de temperatura en tres zonas de temperatura, cada zona de temperatura puede ser Conjunto con curva de tiempo y temperatura de 30 segmentos. |
Operando temperatura | 0~1150℃ |
Calefacción tasa | ≤10℃/minuto |
Consumo sistema | Tres canales medidor de flujo de masa Arkansas gas 0~500sccm N2 gas 0~200sccm H2 gas 0~200sccm Equipado Con siete canales de separación de gases, ruta de mezcla de gases. |
Horno brida de tubería | Inoxidable Brida de acero refrigerada por agua, equipada con interfaz de vacío KF16, mecánica Vacuómetro y válvula de aguja de acero inoxidable. |
Fuerza requisitos | C.A. 220V 50Hz 4kW |
Control modo | 7 pulgadas pantalla táctil |
Vacío bomba | Doble bomba de vacío de paletas rotativas de etapa |
Vacío | Teórico Grado de vacío máximo 10^-1Pa |
Este equipo es un dispositivo de preparación de disulfuro de molibdeno de gran tamaño a nivel de oblea diseñado según los principios de CVD.Incluye un horno tubular de tres zonas, un horno tubular especialmente diseñado y un conjunto de circuitos de gas de soporte.El equipo puede liberar uniformemente el gas de reacción en el tubo del horno a través de una tubería especialmente diseñada para garantizar la consistencia y uniformidad del producto en la oblea trasera.Es la mejor opción para experimentos de preparación de disulfuro de molibdeno.
Parámetros técnicos:
Producto modelo | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
Horno material del tubo | Alto cuarzo pureza |
Horno tamaño del tubo | Externo tubo de cuarzo grande φ120mm x1000mm Interno tubo de cuarzo pequeño φ25mm x820mm x7 |
Temperatura longitud de la zona | Tres zona de calentamiento 200mm+200mm+200mm |
Temperatura precisión del control | ±1℃ |
Temperatura curva | Independiente Control de temperatura en tres zonas de temperatura, cada zona de temperatura puede ser Conjunto con curva de tiempo y temperatura de 30 segmentos. |
Operando temperatura | 0~1150℃ |
Calefacción tasa | ≤10℃/minuto |
Consumo sistema | Tres canales medidor de flujo de masa Arkansas gas 0~500sccm N2 gas 0~200sccm H2 gas 0~200sccm Equipado Con siete canales de separación de gases, ruta de mezcla de gases. |
Horno brida de tubería | Inoxidable Brida de acero refrigerada por agua, equipada con interfaz de vacío KF16, mecánica Vacuómetro y válvula de aguja de acero inoxidable. |
Fuerza requisitos | C.A. 220V 50Hz 4kW |
Control modo | 7 pulgadas pantalla táctil |
Vacío bomba | Doble bomba de vacío de paletas rotativas de etapa |
Vacío | Teórico Grado de vacío máximo 10^-1Pa |
