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El instrumento es un dispositivo de deposición química de vapor mejorado con plasma (PECVD) equipado con un Sistema de movimiento rollo a rollo.No solo se utiliza en el proceso de tratamiento térmico continuo del alambrón, como la preparación de fibra de carbono, la modificación de aleaciones y otros materiales del alambrón, sino que también se utiliza para el crecimiento continuo de grafeno en la bobina.
El equipo se compone de cinco partes: un sistema de movimiento de rollo a rollo, un horno de tubo abierto con zona de calentamiento de 1200 ℃2, un sistema de mejora de plasma de PE, un sistema de vacío y un sistema de suministro de gas con caudalímetro de protones de tres vías.Todo el sistema puede funcionar en un entorno de protección de vacío/atmósfera.
La velocidad del dispositivo de bobinado se puede ajustar de 1 a 400 mm/min, y el mecanismo adopta un ajuste de retroalimentación, que puede corregir automáticamente la desviación de velocidad y garantizar la estabilidad de la velocidad de la muestra, asegurando así la precisión del experimento.
PECVD con parámetro técnico del sistema rollo a rollo:
1200Horno de tubo abierto con zona de calentamiento ℃2 | Artículo | Detalle |
Voltaje | CA 220 V, 50 Hz. | |
máximo poder | 3kW | |
Zona de calentamiento | Zonas duales 200 mm+200 mm | |
Temperatura de trabajo | ≤1200℃ | |
Precisión del control de temperatura | ±1℃ | |
Método de control de temperatura | Curva de proceso AI-PID de 30 etapas, puede almacenar múltiples | |
Material del tubo | Cuarzo de alta pureza | |
Tamaño del tubo | φ80 mm de diámetro interior x 1400 mm de largo | |
Modo de sellado | Brida de vacío de acero inoxidable | |
Medición de vacío | medidor de resistencia | |
gas de trabajo | Gases no corrosivos como hidrógeno, nitrógeno, argón y oxígeno | |
Bomba aspiradora | Bomba de vacío rotativa bipolar de paletas | |
Vacío definitivo | 10^-1Pa | |
Caudalímetro másico de tres vías | Artículo | Detalle |
Tipo de válvula | Válvula de aguja de acero inoxidable | |
Canales de gas | tres vías | |
Rango de presión | 0,05 ~ 0,3 MPa | |
Rango | 0~100 SCCM (Ar) 0~200 SCCM(H2) 0~500 SCCM(CH4) | |
Rango de control de flujo | ±1,5% | |
Volumen del tanque de mezcla | 750ml | |
Material del recorrido del gas | acero inoxidable 304 | |
Interfaz de tubería | Junta tipo mordida de 6,35 mm. | |
Fuente de alimentación | CA 220 V 50 Hz. | |
potencia de RF | Artículo | Detalle |
Potencia de salida | 500W | |
Precisión de salida | ±1% | |
frecuencia de radiofrecuencia | 13,56MHz | |
Estabilidad de RF | ±0,005% | |
método de enfriamiento | Refrigeración por agua |
El instrumento es un dispositivo de deposición química de vapor mejorado con plasma (PECVD) equipado con un Sistema de movimiento rollo a rollo.No solo se utiliza en el proceso de tratamiento térmico continuo del alambrón, como la preparación de fibra de carbono, la modificación de aleaciones y otros materiales del alambrón, sino que también se utiliza para el crecimiento continuo de grafeno en la bobina.
El equipo se compone de cinco partes: un sistema de movimiento de rollo a rollo, un horno de tubo abierto con zona de calentamiento de 1200 ℃2, un sistema de mejora de plasma de PE, un sistema de vacío y un sistema de suministro de gas con caudalímetro de protones de tres vías.Todo el sistema puede funcionar en un entorno de protección de vacío/atmósfera.
La velocidad del dispositivo de bobinado se puede ajustar de 1 a 400 mm/min, y el mecanismo adopta un ajuste de retroalimentación, que puede corregir automáticamente la desviación de velocidad y garantizar la estabilidad de la velocidad de la muestra, asegurando así la precisión del experimento.
PECVD con parámetro técnico del sistema rollo a rollo:
1200Horno de tubo abierto con zona de calentamiento ℃2 | Artículo | Detalle |
Voltaje | CA 220 V, 50 Hz. | |
máximo poder | 3kW | |
Zona de calentamiento | Zonas duales 200 mm+200 mm | |
Temperatura de trabajo | ≤1200℃ | |
Precisión del control de temperatura | ±1℃ | |
Método de control de temperatura | Curva de proceso AI-PID de 30 etapas, puede almacenar múltiples | |
Material del tubo | Cuarzo de alta pureza | |
Tamaño del tubo | φ80 mm de diámetro interior x 1400 mm de largo | |
Modo de sellado | Brida de vacío de acero inoxidable | |
Medición de vacío | medidor de resistencia | |
gas de trabajo | Gases no corrosivos como hidrógeno, nitrógeno, argón y oxígeno | |
Bomba aspiradora | Bomba de vacío rotativa bipolar de paletas | |
Vacío definitivo | 10^-1Pa | |
Caudalímetro másico de tres vías | Artículo | Detalle |
Tipo de válvula | Válvula de aguja de acero inoxidable | |
Canales de gas | tres vías | |
Rango de presión | 0,05 ~ 0,3 MPa | |
Rango | 0~100 SCCM (Ar) 0~200 SCCM(H2) 0~500 SCCM(CH4) | |
Rango de control de flujo | ±1,5% | |
Volumen del tanque de mezcla | 750ml | |
Material del recorrido del gas | acero inoxidable 304 | |
Interfaz de tubería | Junta tipo mordida de 6,35 mm. | |
Fuente de alimentación | CA 220 V 50 Hz. | |
potencia de RF | Artículo | Detalle |
Potencia de salida | 500W | |
Precisión de salida | ±1% | |
frecuencia de radiofrecuencia | 13,56MHz | |
Estabilidad de RF | ±0,005% | |
método de enfriamiento | Refrigeración por agua |
