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Máquina de recubrimiento compuesta de evaporación térmica y farfulla de magnetrón de doble objetivo

La máquina de recubrimiento dos en uno de pulverización catódica con magnetrón y evaporación térmica se puede utilizar para el recubrimiento de productos electrónicos, vidrio, muestras de cerámica, metal y otras muestras, especialmente adecuada para la preparación de muestras de laboratorio SEM (microscopio electrónico de barrido).
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Cantidad:
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  • TN-MS500S-2TA1S

  • TN

Magnetron Sputter y Evaporación térmica La máquina de recubrimiento de dos en uno se puede utilizar para el recubrimiento de productos electrónicos, vidrio, muestras de cerámica, metal y otras muestras, especialmente adecuadas para la preparación de la muestra de SEM de laboratorio (microscopio electrónico de barrido).


El equipo está compuesto principalmente de cámara de vacío de acero inoxidable, objetivo de pulverización de magnetrón, fuente de evaporación, tabla de muestra de calentamiento rotativo, unidad de bomba de vacío, medidor de medición de vacío, sistema de admisión de aire y sistema de control.


Parámetro técnico

Modelo

TN-MS500S-2TA1S

Mesa de muestra

Tamaño

150 mm de diámetro.

Calefacción

≤500 ℃


Velocidad de rotación

1-20R/min

Control temporal

± 1 ℃

Cabezal de magnetrón

Cantidad

2 pulgadas × 2

Modo de enfriamiento

Agua enfriada

Evaporación térmica

fuente del evaporador

Cesta de alambre de tungsteno

Temperatura máxima

1500 ℃

Par termoeléctrico

Tipo S



Cámara de vacío

Tamaño

300 mmdia. × 300 mmh

Ventana de reloj

100 mm de diámetro.

Material

304 SUS

Modo abierto

Puerta de apertura delantera


Sistema de vacío

Bomba mecánica

Bomba de paleta giratoria

Interfaz de extracción

KF16

Bombeo

1.1l/s



Bomba molecular

Bomba turbo

Interfaz de extracción

CF150

Bombeo

600L/s

Interfaz de escape

KF40

Calibre

Calibre de resistencia + medidor de ionización



Grado de vacío final

1.3x10-4PA

Fuente de alimentación

AC; 220V 50/60Hz

Sputter Power Sply

Fuente de alimentación de DC

1 set

Potencia de salida

≤1000W

Voltaje de salida

≤600W

Tiempo de respuesta

< 5ms

Fuente de alimentación de RF

1 set

Potencia de salida

≤1000W

Estabilidad de potencia

≤5W



Frecuencia de RF

13.56MHz

Estabilidad de RF


± 0.005%

Medidor de espesor de película

Resolución

± 0.03Hz

Exactitud

± 0.5%

Límite de rango superior


50000

Velocidad

100 ~ 1000 ms

Sistema de agua enfriada

Volumen de tanque

9L

Fluir

10l/min

Sistema de gas

Tipo de medidor de flujo

MFC (medidor de flujo de masa)

Rango

200sccm

Tipo de gas

Arkansas




Otro

Suministro de entrada

AC220V, 50Hz

Tamaño

1400x750x1300 mm

Potencia total

4KW (Host+bomba de vacío)

Peso

295 kg

Nueva tabla de muestra está disponible

Muestra

Tamaño

Para Dia.150 mm de muestra máx.

Altura

70 mm ajustable


Velocidad de rotación

1 ~ 20 rpm

Calefacción

0 ~ 500 ℃


La máquina de recubrimiento compuesto de evaporación y magnetrón de doble objetivo es una solución de vanguardia diseñada para aplicaciones de recubrimiento avanzadas. Una de sus características destacadas es la operación intuitiva de la pantalla táctil, complementado por un medidor de control de temperatura para una detección precisa. Esta interfaz de parámetros digitales y el modo de operación automática proporcionan a los usuarios una plataforma excepcional para la investigación y el desarrollo, simplificando el proceso de materiales de recubrimiento y mejorando la productividad.


Construido con una cámara de vacío hecha de acero inoxidable 304, esta máquina cuenta con un diseño estéticamente agradable junto con una artesanía fina. La cámara incluye una ventana de observación y un deflector, lo que permite a los usuarios monitorear el proceso de recubrimiento de manera efectiva. La brida de sellado principal es una brida de sellado de alta aspiración de la serie CF, asegurando un rendimiento de vacío superior. Cada interfaz de la cámara de vacío está sellada con un anillo de sello de goma duradero, lo que contribuye significativamente a mantener la integridad del vacío y, en consecuencia, la calidad de los recubrimientos producidos.


En términos de funcionalidad, la máquina presenta una disposición de objetivo única donde el objetivo se coloca en la parte inferior de la cavidad, mirando hacia arriba. Este diseño se combina con una tabla de muestra que puede calentar y girar, facilitando un efecto de recubrimiento más uniforme en diferentes sustratos. Esta capacidad es esencial para lograr resultados consistentes, especialmente en procesos de recubrimiento complejos.


El sistema de adquisición de vacío es otro punto destacado, que utiliza un grupo de bombas de vacío de dos etapas. La bomba de respaldo es una bomba mecánica de alta velocidad que reduce eficientemente el tiempo requerido para pasar de la presión atmosférica al vacío bajo. La bomba principal, una bomba molecular de la turbina, mejora este proceso con su alta velocidad de bombeo, asegurando una rápida adquisición de vacío. Juntos, estos componentes crean un entorno de vacío limpio y eficiente, que es crítico para lograr recubrimientos de alta calidad en diversas aplicaciones. En general, esta máquina representa un avance significativo en la tecnología de recubrimiento, que combina funciones fáciles de usar con un rendimiento robusto.


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