Máquina de recubrimiento compuesta de evaporación térmica y farfulla de magnetrón de doble objetivo

La máquina de recubrimiento dos en uno de pulverización catódica con magnetrón y evaporación térmica se puede utilizar para el recubrimiento de productos electrónicos, vidrio, muestras de cerámica, metal y otras muestras, especialmente adecuada para la preparación de muestras de laboratorio SEM (microscopio electrónico de barrido).

El equipo se compone principalmente de una cámara de vacío de acero inoxidable, un objetivo de pulverización catódica con magnetrón, una fuente de evaporación, una mesa de muestra de calentamiento rotativa, una unidad de bomba de vacío, un medidor de vacío, un sistema de admisión de aire y un sistema de control.

Características

a.      Operación de pantalla táctil, detección de medidor de control de temperatura.La interfaz de parámetros digitales y el modo de operación automática brindan a los usuarios una excelente plataforma de investigación y desarrollo;

b.      La cámara de vacío está hecha de acero inoxidable 304 con ventana de observación y deflector.Hermosa forma, mano de obra fina, excelente rendimiento de vacío.La brida de sellado principal es la brida de sellado de alto vacío serie CF.Cada interfaz de la cámara de vacío está sellada con un anillo de sellado de goma, que tiene un excelente rendimiento de vacío y puede garantizar eficazmente la calidad del recubrimiento;

C.       El objetivo está ubicado en la parte inferior de la cavidad y el objetivo está hacia arriba.La mesa de muestra tiene la función de calentar y girar, lo que puede hacer que el efecto del recubrimiento sea más uniforme;

d.      El sistema de adquisición de vacío adopta un grupo de bomba de vacío de dos etapas.La bomba de respaldo es una bomba mecánica con alta velocidad de bombeo, que puede reducir efectivamente el tiempo desde la presión atmosférica hasta el vacío bajo.La bomba principal es una bomba molecular de turbina, que tiene una alta velocidad de bombeo y una velocidad de adquisición de vacío más rápida.El sistema general de adquisición de vacío es limpio y rápido.

Parámetro técnico

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