Recubridor de pulverización catódica con magnetrón de un solo objetivo de escritorio con voltaje de polarización para deposición de película delgada

Modelo del Producto

TN-MSP180G-1T-B (voltaje de polarización)

Condición de instalación

1, temperatura ambiente de trabajo: 25 ℃ ± 15 ℃, humedad: 55% Rh ± 10% Rh;

2. Fuente de alimentación del equipo: CA 220 V, 50 Hz, debe estar bien conectada a tierra;

3, potencia nominal: 1000w;

4,Equipo para gas: La cámara del equipo debe llenarse con gas argón para su limpieza.   El cliente debe preparar gas argón con una pureza ≥99,99%.

5, requisitos de tamaño de la mesa: 600 mm × 600 mm × 850 mm, capacidad de carga ≥ 50 kg;

6, la posición debe estar bien ventilada y refrigerada.

Indicadores Técnicos

1. Fuente de alimentación de pulverización: fuente de alimentación CC 300 W; voltaje de salida máximo   600 V, limitado   salida de corriente 500mA

2. Objetivo del magnetrón: objetivo de equilibrio de 2 pulgadas, deflector de acoplamiento magnético;

3 、 Fuente de alimentación de polarización: salida   voltaje <1000 V, tipo: fuente de alimentación CC de pulso de alta frecuencia  

4. Material objetivo adecuado: φ50 mm x 3 mm de espesor

5 、 Tamaño de la cavidad: exterior   diámetro 194, diámetro interior 186 mm x altura 230 mm

6 、 Material de la cavidad: acero inoxidable 304

7、 Muestra de calentamiento giratoria   mesa: rotar   velocidad 1~20rpm  continuamente ajustable; calentamiento máximo   temperatura 500 ℃, la más baja recomendada   Velocidad de calentamiento 10 ℃/min, la más alta recomendada   Velocidad de calentamiento 20 ℃/min.

8. Modo de enfriamiento: objetivo magnético y   La bomba molecular requiere un enfriador de agua circulante.

9 、 Máquina de refrigeración por agua: volumen del tanque 9 L, caudal 10 L/min

10 、 Sistema de suministro de gas: medidor de flujo másico, tipo de gas argón, flujo 1 ~ 30 sccm (personalizable)

11. Precisión del caudalímetro: ±1,5 % del rango de medición.

12 、 La interfaz de bombeo de aire   de la cámara de vacío es KF25

13. La interfaz de entrada de aire está   Junta de doble virola de 1/4 de pulgada

14 、 La pantalla táctil es de 7 pulgadas   pantalla táctil a color

15 、 pulverización ajustable   corriente, chisporroteo   se pueden configurar el valor de corriente de seguridad y el valor de vacío de seguridad;

16. Protección de seguridad: sobrecorriente, vacío demasiado bajo.   corta automáticamente la corriente de pulverización

17 、 Vacío máximo: 5E-4Pa (molecular coincidente   bomba);

18 、 Vacío   La medida es el vacuómetro Parana, el rango es: 1 ~ 105Pa.

Aviso

1, pulverización magnetrón   tiene un alto vacío de trabajo, generalmente dentro de 2 Pa, y debe usarse con   bomba molecular.

2, para lograr un   En un entorno con alto contenido de oxígeno, la cámara de vacío debe limpiarse al menos 3   veces con gas inerte de alta pureza.

3, la farfulla magnetrón es   sensible a la entrada de aire, por lo que se necesita un medidor de flujo másico para controlar el aire   consumo

Opcional   Accesorio

Monitor de espesor de película

1, espesor de la película   Resolución: 0,0136 Å (aluminio)

2, precisión de la película   Espesor: ± 0,5%, depende del proceso.   condiciones, especialmente la posición del sensor, la tensión del material, la temperatura y   densidad  

3, velocidad de medición: 100 ms-1 s/veces, el rango de medición puede ser   conjunto: 500000Å (aluminio)

4, cristal sensor estándar: 6MHz

5, adecuado para oblea   frecuencia: 6MHz  

adecuado para tamaño de oblea: Φ14 mm

brida de montaje: CF35

Otro accesorio

·            1, serie CY-CZK103 de alto rendimiento   conjunto de bomba molecular (incluido vacuómetro compuesto, rango de medición   10-5Pa~105Pa)

Conjunto de bomba molecular pequeña serie CY-GZK60 (incluido vacuómetro compuesto, rango de medición   10-5Pa~102Pa)

Paleta rotativa bipolar VRD-4   bomba aspiradora

2, fuelles de vacío KF25;   La longitud puede ser de 0,5 m, 1 mo 1,5 m.Soporte de abrazadera KF40

3, medidor de espesor de película   Oscilador de cristal;