| Cantidad: | |
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TN-MSP500S-DC-RF
TN
Este equipo es una máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de escritorio de un solo cabezal.El diseño miniaturizado del equipo limita la apariencia del equipo al nivel del escritorio, lo que reduce en gran medida los requisitos del lugar de instalación.El equipo está equipado con una fuente de alimentación de CC, que puede usarse para pulverizar materiales metálicos y tiene las características de alta velocidad y bajo aumento de temperatura.
El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de cabezal único con cámara de acero inoxidable se puede utilizar para preparar películas delgadas ferroeléctricas, películas conductoras, películas de aleaciones y similares de una o varias capas.En comparación con equipos similares, el recubridor por pulverización catódica con magnetrón de doble objetivo no solo se usa ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un tamaño pequeño y fácil operación, y es un equipo ideal para preparar películas de materiales en un laboratorio.
Parámetros técnicos:
Voltaje de suministro | VCA 220, 60 Hz |
Cámara de vacío | Dimensión: diámetro.300 mm * altura 300 mm Material: acero inoxidable 304 Ventana gráfica (ventana): ~4'' (100 mm) con obturador |
Cámara superior | Portamuestras superior central Tamaño de muestra: Máx.4'' de diámetro Velocidad de rotación: 0-20 rpm ajustable Temperatura de calentamiento: hasta 300oC |
Cámara inferior | Pistolas de pulverización magnetrón de 2 × 2'', con obturador automático en cada pistola, todas CON-FOCAL, orientación chisporroteante hacia arriba 1 Termoevaporación resistiva, bajo voltaje, potencia 500W |
Generador de CC | Cantidad: 1 juego Potencia de salida: 0~500W Voltaje de salida: 0~600V Duración del tiempo: 65000S Tiempo de inicio suave: 1~10S Máx.corriente de salida: 1 A Regulación de carga: >99,86% Tiempo de respuesta de cortocircuito: <5mS Precisión de control: 1%±1 |
Monitor de espesor de película | Cristal del monitor de cuarzo: 6MHz |
Bomba aspiradora sistema | Limitado vacío: 10-5Pa |
Enfriador de agua | Temperatura del agua de refrigeración: 37 ℃ Caudal: 10 l/min. Potencia: 0,1 KW Potencia de enfriamiento: 50W/℃ Capacidad del tanque: 9L |
Medidor de flujo de masa | 1 × control de flujo másico MFC Con válvula de vacío eléctrica para cerrar el flujo de gas. |
Este equipo es una máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de escritorio de un solo cabezal.El diseño miniaturizado del equipo limita la apariencia del equipo al nivel del escritorio, lo que reduce en gran medida los requisitos del lugar de instalación.El equipo está equipado con una fuente de alimentación de CC, que puede usarse para pulverizar materiales metálicos y tiene las características de alta velocidad y bajo aumento de temperatura.
El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de cabezal único con cámara de acero inoxidable se puede utilizar para preparar películas delgadas ferroeléctricas, películas conductoras, películas de aleaciones y similares de una o varias capas.En comparación con equipos similares, el recubridor por pulverización catódica con magnetrón de doble objetivo no solo se usa ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un tamaño pequeño y fácil operación, y es un equipo ideal para preparar películas de materiales en un laboratorio.
Parámetros técnicos:
Voltaje de suministro | VCA 220, 60 Hz |
Cámara de vacío | Dimensión: diámetro.300 mm * altura 300 mm Material: acero inoxidable 304 Ventana gráfica (ventana): ~4'' (100 mm) con obturador |
Cámara superior | Portamuestras superior central Tamaño de muestra: Máx.4'' de diámetro Velocidad de rotación: 0-20 rpm ajustable Temperatura de calentamiento: hasta 300oC |
Cámara inferior | Pistolas de pulverización magnetrón de 2 × 2'', con obturador automático en cada pistola, todas CON-FOCAL, orientación chisporroteante hacia arriba 1 Termoevaporación resistiva, bajo voltaje, potencia 500W |
Generador de CC | Cantidad: 1 juego Potencia de salida: 0~500W Voltaje de salida: 0~600V Duración del tiempo: 65000S Tiempo de inicio suave: 1~10S Máx.corriente de salida: 1 A Regulación de carga: >99,86% Tiempo de respuesta de cortocircuito: <5mS Precisión de control: 1%±1 |
Monitor de espesor de película | Cristal del monitor de cuarzo: 6MHz |
Bomba aspiradora sistema | Limitado vacío: 10-5Pa |
Enfriador de agua | Temperatura del agua de refrigeración: 37 ℃ Caudal: 10 l/min. Potencia: 0,1 KW Potencia de enfriamiento: 50W/℃ Capacidad del tanque: 9L |
Medidor de flujo de masa | 1 × control de flujo másico MFC Con válvula de vacío eléctrica para cerrar el flujo de gas. |
