| Cantidad: | |
|---|---|
TN-MSP210S-DC-D
TN
Este equipo es un recubridor por pulverización catódica con magnetrón de doble objetivo, que se puede utilizar en la preparación de películas metálicas, en los campos de la electrónica, óptica, cerámicas especiales, etc. También se puede utilizar para preparar muestras SEM en laboratorio.
Adopta una cámara de acero inoxidable de alto vacío, un diseño de apertura de puerta frontal y una ventana de observación de cuarzo en la puerta, lo cual es conveniente para la observación y grabación del experimento.Al mismo tiempo, el equipo está equipado con una mesa de muestra de calentamiento rotativa, que puede mejorar efectivamente la uniformidad y la calidad de la película.Se instala un juego de placas deflectoras en la cubierta superior y los dos objetivos se pueden cambiar girando la placa deflectora para realizar un recubrimiento multicapa.
Este equipo debe usarse junto con un grupo de bombas moleculares de alto vacío.Los usuarios pueden elegir una bomba molecular pequeña de marca importada para ahorrar aún más el área de instalación.
Al mismo tiempo, el modelo puede equiparse con componentes medidores de espesor de película, que pueden monitorear el espesor de la película en tiempo real y proporcionar parámetros confiables para el proceso experimental.
Recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de doble objetivo Parámetro técnico:
Etapa de muestra | Tamaño | 100mm | Calefacción | ≤500 ℃ |
Velocidad de rotación | 1-20 rpm | Control de temperatura | ±1℃ | |
Cabezal de pulverización magnetrón | Cantidad | 2'x2 | Modo de enfriamiento | Enfriado hidráulicamente |
Cámara de vacío | Tamaño | Diámetro 210 mm × 260 mm | ventana de observación | ø40mm |
Material | SUS | modo abierto | Apertura frontal | |
Fuente de alimentación por pulverización | Fuente de alimentación DC | 1 juego | Potencia de salida | ≤300W |
Tensión de salida | ≤600V | tiempo de respuesta | <5 ms | |
Refrigeración por agua | Capacidad del tanque | 9L | Fluir | 10 l/min |
Medidor de espesor de película | Exactitud | 0,1 angstrom | Modo de enfriamiento | Refrigeración por agua |
Otro | Fuente de alimentación | CA 220 V, 50 Hz. | Poder total | 4kW |
Sistema de bomba molecular | Bomba de respaldo | Bomba rotativa de paletas | Bombeo | 1,1 l/s |
bomba secundaria | bomba turbo molecular (doméstica) | Bombeo | 600L/s | |
Interfaz de extracción | KF40 | Salida de aire | KF16 |
Este equipo es un recubridor por pulverización catódica con magnetrón de doble objetivo, que se puede utilizar en la preparación de películas metálicas, en los campos de la electrónica, óptica, cerámicas especiales, etc. También se puede utilizar para preparar muestras SEM en laboratorio.
Adopta una cámara de acero inoxidable de alto vacío, un diseño de apertura de puerta frontal y una ventana de observación de cuarzo en la puerta, lo cual es conveniente para la observación y grabación del experimento.Al mismo tiempo, el equipo está equipado con una mesa de muestra de calentamiento rotativa, que puede mejorar efectivamente la uniformidad y la calidad de la película.Se instala un juego de placas deflectoras en la cubierta superior y los dos objetivos se pueden cambiar girando la placa deflectora para realizar un recubrimiento multicapa.
Este equipo debe usarse junto con un grupo de bombas moleculares de alto vacío.Los usuarios pueden elegir una bomba molecular pequeña de marca importada para ahorrar aún más el área de instalación.
Al mismo tiempo, el modelo puede equiparse con componentes medidores de espesor de película, que pueden monitorear el espesor de la película en tiempo real y proporcionar parámetros confiables para el proceso experimental.
Recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón de doble objetivo Parámetro técnico:
Etapa de muestra | Tamaño | 100mm | Calefacción | ≤500 ℃ |
Velocidad de rotación | 1-20 rpm | Control de temperatura | ±1℃ | |
Cabezal de pulverización magnetrón | Cantidad | 2'x2 | Modo de enfriamiento | Enfriado hidráulicamente |
Cámara de vacío | Tamaño | Diámetro 210 mm × 260 mm | ventana de observación | ø40mm |
Material | SUS | modo abierto | Apertura frontal | |
Fuente de alimentación por pulverización | Fuente de alimentación DC | 1 juego | Potencia de salida | ≤300W |
Tensión de salida | ≤600V | tiempo de respuesta | <5 ms | |
Refrigeración por agua | Capacidad del tanque | 9L | Fluir | 10 l/min |
Medidor de espesor de película | Exactitud | 0,1 angstrom | Modo de enfriamiento | Refrigeración por agua |
Otro | Fuente de alimentación | CA 220 V, 50 Hz. | Poder total | 4kW |
Sistema de bomba molecular | Bomba de respaldo | Bomba rotativa de paletas | Bombeo | 1,1 l/s |
bomba secundaria | bomba turbo molecular (doméstica) | Bombeo | 600L/s | |
Interfaz de extracción | KF40 | Salida de aire | KF16 |
