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Recubridor de evaporación de alto vacío con fuentes de evaporación múltiples para deposición de Ti y Au para contactos

El recubridor por evaporación de alto vacío se basa principalmente en la evaporación de fuentes metálicas/orgánicas.Es adecuado para la preparación de elementos metálicos, óxidos, dieléctricos, películas semiconductoras.
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  • TN-EVP325S-2S

  • TN


El instrumento de revestimiento por evaporación de alto vacío con fuentes de evaporación múltiples y cuatro fuentes de calentamiento es un equipo de nivel profesional diseñado para la preparación precisa y eficiente de diversas películas.Este instrumento de alta calidad es ideal para aplicaciones que requieren la deposición de películas conductoras, películas semiconductoras, películas ferroeléctricas y películas ópticas.


Con sus fuentes de evaporación múltiple, este instrumento de recubrimiento ofrece una versatilidad y flexibilidad excepcionales en la deposición de películas.Permite la evaporación simultánea de múltiples materiales, lo que permite la creación de estructuras de película complejas con un control preciso sobre la composición y el espesor.Esta característica lo convierte en una opción ideal para investigación y desarrollo, así como para entornos de producción.


Al operar en condiciones de alto vacío, este recubridor por evaporación garantiza un proceso de deposición de película limpio y libre de contaminación.El entorno de vacío elimina la presencia de impurezas no deseadas, lo que da como resultado películas con excelente pureza y uniformidad.Esto es crucial para aplicaciones donde la calidad y el rendimiento de la película son de suma importancia.


Equipado con cuatro fuentes de calentamiento, este instrumento permite un calentamiento eficiente y uniforme de los materiales de evaporación.El control preciso de la temperatura garantiza tasas de evaporación y características de deposición óptimas, lo que da como resultado películas de alta calidad con las propiedades deseadas.Las fuentes de calor se pueden controlar individualmente, lo que permite la evaporación y deposición selectivas de diferentes materiales.


El instrumento de revestimiento por evaporación de alto vacío de fuentes de evaporación múltiples está diseñado con una mentalidad profesional, lo que garantiza resultados confiables y repetibles.Su construcción robusta y sus características avanzadas lo hacen adecuado para una amplia gama de aplicaciones, incluidas la microelectrónica, la óptica, la nanotecnología y la ciencia de materiales.


Invierta en este instrumento recubridor de última generación para mejorar sus capacidades de deposición de películas y lograr resultados superiores en sus procesos de investigación o producción.Con su rendimiento de nivel profesional y características excepcionales, es un activo valioso para cualquier laboratorio o instalación de fabricación que busque una preparación de películas precisa y eficiente.


Parámetros técnicos:


Muestra   escenario

Tamaño

máx.   soporte de muestra de φ150 mm

Altura

Adjustable   arriba y abajo 70mm

Evaporación   fuente

Cantidad

Tungsteno   Barco x2



Vacío   cámara

Cámara   tamaño

Día.   300 mm x 400 mm

Observación   ventana

Frente   φ100mm con hoja de sombreado

Cámara   material

304   acero inoxidable

Apertura   método

Frente   puerta abierta

Película   control de espesor

Cristal   instrumento de medición de espesor de película vibratoria, película multicanal opcional   controlador de espesor

Vacío   sistema

Apoyo   bomba

Doble   bomba de paletas rotativa de etapa

Bombeo   puerto

KF16

Secundario   bomba

Turbo   bomba molecular

Bombeo   puerto

CF160

Vacío   medición

Resistencia   + ionización

Compuesto   indicador de vacio

Escape   tasa

Mecánico   bomba 1.1L/s

Molecular   bomba 600L/s

Último   vacío

1.0E-5Pa

Fuerza   suministrar

CA 220 V 50/60 Hz

Bombeo   tasa

Giratorio   bomba de paletas: 1.1L/S

Medidor de corriente

Uno   Medidor de flujo másico de vía 500sccm gas Ar

Control   Sistema

SOCIEDAD ANÓNIMA   Control automático

Operación   Interfaz: pantalla táctil + panel de operación

Otro

Suministrar   Voltaje

CA 380 V, 50 Hz.

Máquina   tamaño

1000 mm x 800 mm x 1500 mm

Total   fuerza

5kW

Máquina   peso

350 kilos


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