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Este instrumento es un instrumento de recubrimiento por evaporación de alto vacío, se utiliza una canasta de alambre de tungsteno (o bote de tungsteno) como fuente de evaporación, y la distancia entre la mesa de muestra y la fuente de evaporación es ajustable.El instrumento puede evaporar constantemente metales y ciertos compuestos orgánicos.Cámara de acero inoxidable de alto vacío, buen rendimiento de sellado, buen rendimiento de vacío.La cámara está equipada con ventanas de visualización para poder ver el proceso de recubrimiento.El máximo vacío de 10E-4Pa del sistema de bomba molecular puede mejorar eficazmente la calidad del recubrimiento y cumplir con el entorno de vacío requerido para la mayoría de los experimentos de recubrimiento por evaporación.
Usos del instrumento de recubrimiento por evaporación térmica de alto vacío:
El recubridor por evaporación de bobina se puede utilizar para el crecimiento de películas de diferentes tipos de materiales, la mayoría de los metales y algunas películas de materiales orgánicos, como metales, semiconductores, óxidos, etc.
Parámetros técnicos del instrumento de recubrimiento por evaporación térmica de alto vacío:
Tensión de alimentación | Monofásico, 220 V CA, 50 Hz |
Tratamiento de la pared interior | Pulido electrolítico |
Material de la cavidad | acero inoxidable 304 |
Tamaño de la cavidad | Horizontales Φ600 mm x 500 mm |
ventana de visualización | Frente φ100mm incluyendo placa de sombreado |
Modo de apertura | Tipo de puerta de entrada |
Rebobinado | Φ200mmx300mm |
Velocidad | 60 m/min (ajustable) |
Tensión | Adjustable |
Número de piezas | 1 juego de fuente de evaporación de metal con deflector independiente |
voltaje del electrodo | 10V |
Velocidad de alimentación de alambre | ≤3m/minuto |
Corriente de evaporación | La potencia es de 2KW, la corriente máxima es de 160A y el ajuste la precisión es 1A |
Evaporador | Barco de tungsteno, 1 unidad |
Bomba frontal | Bomba de paletas rotativa bipolar, velocidad de bombeo 1,1 l/s |
bomba turbomolecular | Velocidad de bombeo: 600L/s; Velocidad nominal: 24000 rpm; Tiempo de inicio: ≤4,5 min Modo de refrigeración: refrigeración por agua + refrigeración por aire Interfaz de admisión: ISO150 Interfaz de salida de aire: KF40 Vacío: 5,0*10-4Pa (5,0*10-6mbar) Vacío a 5,0×10-3 Pa (5,0*10-5mbar) durante menos de 40 minutos |
Vacuómetro compuesto | El rango de medición es 105Pa~10-5Pa |
Precisión de la medición | 0,1 Å |
Velocidad medida | 100 ms-1 s/tiempo |
El rango de medición se puede configurar | 500000Å (aluminio) |
Cristal sensor estándar | 6MHz |
Tamaño de cristal aplicable | Φ14mm (estándar con 10 piezas) |
Compresor de aire | Actuando sobre válvula neumática controlada electrónicamente. |
Enfriador de agua | Temperatura del agua de refrigeración: ≦37℃ Caudal: 10 l/min. Potencia: 0,1 KW Potencia de refrigeración: 50W/C Capacidad del tanque: 9L |
Sistema de control | Control automático PLC Interfaz de operación: pantalla táctil + panel de operación |
Este instrumento es un instrumento de recubrimiento por evaporación de alto vacío, se utiliza una canasta de alambre de tungsteno (o bote de tungsteno) como fuente de evaporación, y la distancia entre la mesa de muestra y la fuente de evaporación es ajustable.El instrumento puede evaporar constantemente metales y ciertos compuestos orgánicos.Cámara de acero inoxidable de alto vacío, buen rendimiento de sellado, buen rendimiento de vacío.La cámara está equipada con ventanas de visualización para poder ver el proceso de recubrimiento.El máximo vacío de 10E-4Pa del sistema de bomba molecular puede mejorar eficazmente la calidad del recubrimiento y cumplir con el entorno de vacío requerido para la mayoría de los experimentos de recubrimiento por evaporación.
Usos del instrumento de recubrimiento por evaporación térmica de alto vacío:
El recubridor por evaporación de bobina se puede utilizar para el crecimiento de películas de diferentes tipos de materiales, la mayoría de los metales y algunas películas de materiales orgánicos, como metales, semiconductores, óxidos, etc.
Parámetros técnicos del instrumento de recubrimiento por evaporación térmica de alto vacío:
Tensión de alimentación | Monofásico, 220 V CA, 50 Hz |
Tratamiento de la pared interior | Pulido electrolítico |
Material de la cavidad | acero inoxidable 304 |
Tamaño de la cavidad | Horizontales Φ600 mm x 500 mm |
ventana de visualización | Frente φ100mm incluyendo placa de sombreado |
Modo de apertura | Tipo de puerta de entrada |
Rebobinado | Φ200mmx300mm |
Velocidad | 60 m/min (ajustable) |
Tensión | Adjustable |
Número de piezas | 1 juego de fuente de evaporación de metal con deflector independiente |
voltaje del electrodo | 10V |
Velocidad de alimentación de alambre | ≤3m/minuto |
Corriente de evaporación | La potencia es de 2KW, la corriente máxima es de 160A y el ajuste la precisión es 1A |
Evaporador | Barco de tungsteno, 1 unidad |
Bomba frontal | Bomba de paletas rotativa bipolar, velocidad de bombeo 1,1 l/s |
bomba turbomolecular | Velocidad de bombeo: 600L/s; Velocidad nominal: 24000 rpm; Tiempo de inicio: ≤4,5 min Modo de refrigeración: refrigeración por agua + refrigeración por aire Interfaz de admisión: ISO150 Interfaz de salida de aire: KF40 Vacío: 5,0*10-4Pa (5,0*10-6mbar) Vacío a 5,0×10-3 Pa (5,0*10-5mbar) durante menos de 40 minutos |
Vacuómetro compuesto | El rango de medición es 105Pa~10-5Pa |
Precisión de la medición | 0,1 Å |
Velocidad medida | 100 ms-1 s/tiempo |
El rango de medición se puede configurar | 500000Å (aluminio) |
Cristal sensor estándar | 6MHz |
Tamaño de cristal aplicable | Φ14mm (estándar con 10 piezas) |
Compresor de aire | Actuando sobre válvula neumática controlada electrónicamente. |
Enfriador de agua | Temperatura del agua de refrigeración: ≦37℃ Caudal: 10 l/min. Potencia: 0,1 KW Potencia de refrigeración: 50W/C Capacidad del tanque: 9L |
Sistema de control | Control automático PLC Interfaz de operación: pantalla táctil + panel de operación |
