Recubridor de evaporación térmica de escritorio con plataforma de muestra de elevación eléctrica Deposición de película metálica

Modelo del Producto

TN-EVP195S-1S-LT（T significa tanque alto; L significa   elevar)

Condición de instalación

1 、 trabajando   temperatura ambiente: 25 ℃ ± 15 ℃, humedad: 55% Rh ± 10% Rh;

2 、 potencia del equipo   suministro: AC220V, 50 Hz, debe estar bien conectado a tierra;

3 、 potencia nominal: 2500 w;

4 、 Equipo para   gas: el equipo   La cámara debe llenarse con gas argón para su limpieza.El cliente debe   Prepare gas argón con una pureza ≥99,99%.

5、Tamaño de la mesa   Requisitos: 600 mm × 600 mm × 700 mm, capacidad de carga ≥ 70 kg;

6、La posición debe   estar bien ventilado y fresco.

Indicadores Técnicos

1 、  Número de fuentes de evaporación: 2, cada una   la fuente de evaporación está equipada con un deflector;

2 、 Voltaje de la fuente de evaporación: 10 V

3. La corriente de evaporación se puede ajustar continuamente.   de 0 a 100A

4 、 Con 1 bote de tungsteno, 1 canasta de tungsteno;

5 、 plataforma de muestra de elevación eléctrica de acero inoxidable,   el diámetro es de 100 mm, la velocidad de rotación es de 1 a 20 rpm continuamente ajustable;

6 、 La distancia entre la muestra y la evaporación.   La fuente se puede ajustar continuamente de 190 a 300 mm y también se puede ajustar   arriba y abajo bajo el estado de vacío;

7. La cavidad de vacío es una cavidad de acero inoxidable con   un diámetro exterior de 195 mm,  un   diámetro interior de 185 mm y una altura de 350 mm;

8 、 La parte superior   la cubierta está sellada con brida ISO para facilitar el desmontaje y la inspección;

9. La cavidad está provista de una puerta frontal y un   ventana de observación de cuarzo con deflector; tamaño   deφ60mm

10. La interfaz de bombeo de aire de la cámara de vacío es   KF40;

11. La interfaz de entrada de aire es de doble casquillo de 1/4 de pulgada.   La válvula de ajuste fino de acero inoxidable se proporciona de forma predeterminada para   ajustar la entrada de aire;

12. La pantalla táctil es una pantalla táctil a color de 7 pulgadas;

13 、 corriente de pulverización ajustable, valor de corriente de seguridad de pulverización y vacío de seguridad   se puede establecer el valor;

14 、  Protección de seguridad: sobrecorriente, el vacío es demasiado   baja corta automáticamente la corriente de farfulla;

15 、 Vacío máximo: 1 Pa (bomba de paletas rotativa de doble etapa correspondiente);

Aviso

1. Para aprovechar al máximo el rendimiento del vacío de la cavidad,   Se recomienda utilizarlo con grupo de bomba molecular.

Accesorio opcional

Película

monitor de espesor

1, espesor de la película   Resolución: 0,0136 Å (aluminio)

2 、 Precisión de la película   Espesor: ±0,5%, depende de las condiciones del proceso, especialmente del sensor.   Posición, tensión del material, temperatura y densidad.  

3. Velocidad de medición: 100 ms a 1 s por vez, rango de medición se puede configurar: 500000 Å (aluminio)

4 、 sensor estándar   cristal: 6MHz

5 、 adecuado para   Frecuencia de oblea: 6MHz

adecuado para tamaño de oblea: Φ14 mm

brida de montaje: CF35

Otro accesorio

1. Barco de tungsteno, cesta de tungsteno;

2. Fuente de evaporación orgánica (incluido el barco de cuarzo).   y fuente de calentamiento de alambre de tungsteno)

3. Se puede seleccionar el número de fuentes de evaporación.   1~2 grupos;

4 、 Bomba molecular de alto rendimiento serie CY-CZK103   conjunto (incluido vacuómetro compuesto, rango de medición 10-5Pa ~ 105Pa);

Serie CY-GZK60 pequeña   conjunto de bomba molecular (incluido vacuómetro compuesto, rango de medición   10-5Pa~102Pa)

Bomba de vacío de paletas rotativas bipolar VRD-4;

5 、 enfriador de agua circulante CW3000 (refrigerado por aire, flujo   tasa de 10 litros por minuto)

6. Fuelles de vacío KF40;La longitud puede ser de 0,5 m, 1 mo   1,5 m.soporte de abrazadera KF40;

7. Oscilador de cristal del medidor de espesor de película;