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Recubridor de pulverización catódica con magnetrón CC de un solo objetivo de escritorio con cavidad de acero inoxidable para películas de estaño

El recubridor por pulverización catódica con magnetrón CC es una herramienta versátil en la deposición de películas delgadas y ofrece ventajas como altas tasas de deposición, buena adhesión de la película y la capacidad de recubrir grandes áreas de manera uniforme. Es una tecnología clave en industrias que van desde la microelectrónica a la óptica, así como en la investigación académica.
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  • TN-MSZ194-I-DC-SS

  • TN

Nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón CC de objetivo único de escritorio es un equipo de vanguardia diseñado para la deposición de películas delgadas en una variedad de aplicaciones. Este recubridor es ideal para la fabricación de microelectrónica, recubrimientos ópticos, recubrimientos duros y resistentes al desgaste, películas magnéticas, células solares y dispositivos de energía.


Con su tecnología avanzada e ingeniería de precisión, este recubridor por pulverización catódica ofrece un control incomparable sobre el proceso de deposición, lo que da como resultado películas delgadas de alta calidad con uniformidad y adhesión excepcionales. Su diseño de objetivo único permite un recubrimiento eficiente y rentable de sustratos, lo que lo convierte en una opción ideal para laboratorios de investigación y desarrollo, universidades e instalaciones de producción a pequeña escala.


Ya sea que esté trabajando en microelectrónica de próxima generación, desarrollando recubrimientos ópticos avanzados o explorando nuevos materiales para dispositivos de energía, nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón CC de objetivo único de escritorio es la herramienta perfecta para ayudarlo a alcanzar sus objetivos. Confíe en nuestra experiencia y conocimientos para brindarle una solución confiable y eficiente para todas sus necesidades de deposición de películas delgadas.


Parámetros técnicos de la recubridora por pulverización catódica con magnetrón:


nombre del producto

Cavidad de escritorio de acero inoxidable.   Aparato de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón CC de un solo objetivo

Número de producto

TN-MSZ194-I-DC-SS

etapa de muestra


Dimensions

ø100mm

Temperatura de calentamiento

≦ 500 ℃

Velocidad ajustable

≦20rpm

Pistola de objetivo magnético

Equipado con un objetivo de control magnético de dos pulgadas, tamaño del objetivo: diámetro   50,8 mm, espesor ≦ 3 mm

cámara de vacío


Tamaño de la cavidad

ø194mm X 263mm

ventana de observación

omnidireccionalmente transparente

Material de la cavidad

acero inoxidable 304

Método de apertura

Cubierta superior extraíble

Sistema de vacío


Bomba de respaldo

Bomba de paletas rotativa bipolar de bajo ruido

bomba molecular

Bomba turbomolecular de bajo ruido y alta velocidad de bombeo

Medición de vacío

Vacuómetro compuesto, rango: 1*10-4Pa

Interfaz de extracción de aire

KF16

Interfaz de extracción de aire

KF40

Interfaz de escape

KF16

Sistema de vacío

1.0×10-4Pensilvania

Fuente de alimentación

CA 220 V 50/60 Hz

Tasa de bombeo

La velocidad de bombeo de la bomba molecular es 60L/s, y la velocidad de bombeo   de la bomba de respaldo es 1.1L/s.

Configuración de energía


Número de fuentes de alimentación

Un conjunto de fuente de alimentación CC.

Potencia de salida

Fuente de alimentación CC 500W

Otros parámetros

Tensión de alimentación

CA 220 V, 50 Hz.

poder total

2kW

peso

80kg

Tamaño total

550mm X 450mm X750mm


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