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Recubridor por pulverización catódica de magnetrón de acero inoxidable de tres objetivos con medidor de espesor de película para película de óxido de estaño indio ITO

El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos se puede utilizar para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras y películas de PTFE.
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  • CY-MSP325S-2DC-1RF

  • TN

El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de acero inoxidable de tres objetivos está equipado con una cámara de acero inoxidable y tres objetivos de pulverización catódica con magnetrón, lo que permite una deposición eficiente y precisa de materiales.El recubridor también incluye un medidor de espesor de película, lo que garantiza un control preciso del espesor de la película durante el proceso de recubrimiento.


Con su avanzada tecnología de pulverización catódica con magnetrón, esta recubridora es capaz de producir películas delgadas de alta calidad con excelente adhesión y uniformidad.La cámara de acero inoxidable proporciona un ambiente limpio y estable para la deposición de la película, minimizando la contaminación y garantizando resultados consistentes.


Ya sea que necesite preparar películas delgadas de ITO (óxido de indio y estaño) u otras películas funcionales, este recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos es una solución confiable y versátil.Su interfaz fácil de usar y sus controles intuitivos facilitan su uso, incluso para usuarios con experiencia limitada.


La recubridora está diseñada con componentes de calidad profesional y construida para resistir el uso continuo en un laboratorio o entorno de producción.Su construcción robusta y su rendimiento confiable garantizan una durabilidad a largo plazo y requisitos mínimos de mantenimiento.


Invierta en el recubridor por pulverización catódica con magnetrón de acero inoxidable de tres objetivos con medidor de espesor de película para ITO Indium T y experimente una deposición de película eficiente y precisa para una amplia gama de aplicaciones.Con sus características de nivel profesional y su diseño fácil de usar, esta recubridora es la elección perfecta para investigadores, ingenieros y fabricantes que buscan recubrimientos de película delgada de alta calidad.


Etapa de muestra

Tamaño

Diámetro 140 mm

Temperatura de calentamiento

Máximo 500 ℃

Precisión de temperatura

±1℃

Velocidad rotacional

1-20 rpm ajustable

Cabezal de pulverización magnetrón

Cantidad

2'×3 (1',2' opcional)

Modo de enfriamiento

Refrigeración por agua

Enfriador de agua

Enfriador de agua circulante con caudal de 10 l/min.

Cámara de vacío

Tamaño de la cámara

Diámetro 300 mm × 300 mm

Material de la cámara

Acero inoxidable

ventana de observación

Diámetro 100 mm

Modo de apertura

Tapa superior abierta

Medidor de flujo de masa

2 canales;rango de medición 100SCCM;100SCCM (se puede personalizar según las necesidades del cliente)

Sistema de vacío

Modelo

TN-GZK103-A

bomba molecular

TN-600

Bomba de respaldo

Bomba rotativa de paletas

Vacío definitivo

1.0E-5Pa

Interfaz de bombeo

CF160

Interfaz de escape

KF40

Medición de vacío

Vacuómetro compuesto

Fuente de alimentación

CA; 220V   50/60Hz

Tasa de bombeo

Bomba molecular: 600L/S Bomba rotativa de paletas: 1,1L/S  

Rendimiento integral de bombeo de gas: vacío de hasta 1,0E-3Pa en 20 minutos

Configuración de energía

Cantidad

Fuente de alimentación CC x2

Fuente de alimentación RF x1

Potencia máxima de salida

CC 500 W, RF 500 W

Otros parámetros

Tensión de alimentación

CA 220 V, 50 Hz.

Poder total

4kW

Tamaño global

600 mm × 650 mm × 1200 mm

Peso total

Alrededor de 350 kg


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