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Recubridor horizontal de pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos y alto vacío para películas delgadas de aleación

Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos, diseñado para aplicaciones avanzadas de deposición de películas delgadas en diversas industrias. Este equipo de vanguardia está equipado con una variedad de características que lo hacen ideal para producir películas delgadas de aleaciones de alta calidad, recubrimientos ópticos complejos, películas de aleaciones magnéticas, células solares de película delgada, recubrimientos de aleaciones duras, capas resistentes a la corrosión y más.
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  • TN-MSH325-III-DCDCRF-SS

  • TN

Presentamos nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos de última generación, diseñado para aplicaciones avanzadas de deposición de películas delgadas en diversas industrias. Este equipo de vanguardia está equipado con una variedad de características que lo hacen ideal para producir películas delgadas de aleaciones de alta calidad, recubrimientos ópticos complejos, películas de aleaciones magnéticas, células solares de película delgada, recubrimientos de aleaciones duras, capas resistentes a la corrosión y más. .


Nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos es una herramienta versátil esencial para la investigación en ciencia de materiales y nanotecnología, así como para fines de experimentación y creación de prototipos. Con un control preciso sobre los parámetros de deposición, incluidos el espesor, la composición y la uniformidad de la película, este recubridor permite la creación de recubrimientos personalizados adaptados a requisitos específicos.


Ya sea que esté trabajando en el desarrollo de nuevos materiales, mejorando productos existentes o realizando investigaciones en el campo de la tecnología de película delgada, nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos ofrece la confiabilidad, la flexibilidad y el rendimiento que necesita para lograr sus objetivos. Invierta hoy en este equipo avanzado y lleve sus capacidades de deposición de películas delgadas al siguiente nivel.

Máquina de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón Parámetros técnicos:

Producto   nombre

Horizontal   alto vacío   Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos

Producto   modelo

TN-MSH325-III-DCDCRF-SS

Fuerza   tensión de alimentación

CA 220 V, 50 Hz.

Completo   fuerza

6kW

Sistema   vacío

≦5×10-4Pa

Muestra   escenario

Dimensions

ø150mm

Calefacción   temperatura

≦ 850 ℃

Temperatura   precisión del control

±1℃

Adjustable   velocidad

≦20rpm

magnetrón   Objetivo de chisporroteo

Objetivo   tamaño

Diámetro   Φ50.8mm, espesor ≦3mm

Enfriamiento   modo

Circulante   refrigeración por agua

Agua   tamaño del flujo

Not   Menos de 10 l/min.

Cantidad

3

Vacío   cámara

Cavidad   tamaño

Diámetro   ø325mm

Cavidad   material

SUU304   acero inoxidable

Observación   ventana

Diámetro   ø100mm

Apertura   método

Arriba   apertura

Gas   control

1   El medidor de flujo másico se utiliza para   Controlar el flujo de Ar, con un rango de 200SCCM.

Vacío   sistema

Equipado   con 1 bomba molecular   sistema, velocidad de bombeo de gas 600L/S

Película   medición de espesor

Opcional   película de cristal de cuarzo   medidor de espesor, resolución 0,10 Å

chisporroteo   fuente de alimentación

Equipado   con fuente de alimentación CC,   potencia 500W*2 Fuente de alimentación RF 300W

Control   sistema

CYKY   profesional autodesarrollado   sistema de control

Equipo   dimensiones

570 mm × 1040 mm × 1700 mm

Equipo   peso

250 kilos

El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos para películas delgadas de aleación es un equipo especializado diseñado para depositar composiciones de aleaciones complejas y recubrimientos multicapa utilizando tres materiales objetivo diferentes. Esta configuración permite una amplia gama de aplicaciones, particularmente en áreas donde es crucial un control preciso sobre la composición y las propiedades de las películas delgadas. Estas son las áreas principales donde se usa comúnmente un recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos:

  1. Fabricación avanzada de microelectrónica y semiconductores:

    • Películas delgadas de aleación: La máquina es ideal para depositar películas delgadas de aleaciones, que son cruciales en dispositivos semiconductores avanzados. Al pulverizar simultáneamente desde tres objetivos diferentes, es posible crear composiciones de aleaciones complejas que son esenciales para la microelectrónica de próxima generación.

    • Películas multicapa y degradadas: Este equipo se utiliza para crear películas multicapa con diferentes materiales, permitiendo la fabricación de dispositivos con propiedades eléctricas, ópticas y mecánicas mejoradas.

  2. Optoelectrónica y Fotónica:

    • Recubrimientos ópticos complejos: En el campo de la optoelectrónica, el sistema de tres objetivos se utiliza para depositar recubrimientos ópticos complejos, como filtros, espejos y recubrimientos antirreflectantes, con índices de refracción y propiedades ópticas personalizados.

    • Óxidos conductores transparentes (TCO): La máquina puede depositar TCO con composiciones de aleaciones específicas, que se utilizan en displays, pantallas táctiles y dispositivos fotovoltaicos.

  3. Almacenamiento magnético y espintrónica:

    • Películas de aleación magnética: El recubridor se utiliza para depositar películas de aleaciones magnéticas, como las que se utilizan en los discos duros y en las memorias magnéticas de acceso aleatorio (MRAM). La capacidad de controlar la composición de las aleaciones magnéticas es crucial para optimizar el rendimiento de estos dispositivos.

    • Dispositivos espintrónicos: En espintrónica, las películas delgadas de aleación con propiedades magnéticas específicas son esenciales. Un sistema de tres objetivos permite el ajuste preciso de estas propiedades ajustando la composición de las aleaciones depositadas.

  4. Almacenamiento y conversión de energía:

    • Componentes de baterías y pilas de combustible: La máquina se utiliza para depositar películas delgadas para dispositivos de almacenamiento de energía, como baterías y pilas de combustible. Las películas delgadas de aleación se pueden adaptar para su uso como materiales de electrodos, recubrimientos protectores o capas catalíticas.

    • Células solares de película delgada: En la producción de células solares de película delgada, el recubridor de tres objetivos se utiliza para depositar capas de aleaciones complejas que sirven como materiales absorbentes o capas amortiguadoras, mejorando la eficiencia y estabilidad de las células solares.

  5. Recubrimientos protectores y resistentes al desgaste:

    • Recubrimientos de aleación dura: El recubridor se utiliza para depositar recubrimientos de aleaciones duras, como aquellos que combinan elementos como titanio, aluminio y cromo. Estos recubrimientos se aplican a herramientas, moldes y componentes mecánicos para mejorar la resistencia al desgaste y prolongar la vida útil.

    • Capas resistentes a la corrosión: Las películas delgadas de aleación que brindan resistencia a la corrosión se utilizan en diversas aplicaciones industriales, incluidos entornos aeroespaciales, automotrices y marinos.

  6. Recubrimientos Decorativos y Funcionales:

    • Recubrimientos estéticos: La máquina se puede utilizar para crear revestimientos decorativos con composiciones de aleaciones que proporcionen atractivo visual y propiedades funcionales, como resistencia al rayado o conductividad, para electrónica de consumo, joyería y molduras de automóviles.

    • Capas funcionales en arquitectura: Los revestimientos de aleación sobre vidrio arquitectónico pueden proporcionar eficiencia energética, protección UV y otros beneficios funcionales al mismo tiempo que contribuyen a la apariencia estética de los edificios.

  7. Investigación y desarrollo:

    • Ciencia de Materiales y Nanotecnología: El sistema de tres objetivos se utiliza ampliamente en I+D para explorar nuevos materiales y desarrollar nuevas composiciones de aleaciones con propiedades adaptadas a aplicaciones específicas. Es particularmente útil para estudiar las relaciones entre composición, estructura y rendimiento en películas delgadas.

    • Creación de prototipos y experimentación.: Los investigadores utilizan la máquina para crear prototipos de nuevos dispositivos y materiales, experimentando con diferentes combinaciones de aleaciones y condiciones de deposición para lograr los resultados deseados.

  8. Películas superconductoras:

    • Investigación de superconductores: La máquina se utiliza para depositar películas de aleaciones superconductoras, como las basadas en niobio-estaño (Nb₃Sn) u otros superconductores de alta temperatura. Estas películas son fundamentales en la investigación y aplicaciones relacionadas con la superconductividad.

  9. Aplicaciones biomédicas:

    • Recubrimientos biocompatibles: Las películas delgadas de aleación se utilizan para crear recubrimientos biocompatibles en implantes y dispositivos médicos. El sistema de tres objetivos permite el control preciso de la composición de la aleación para lograr las propiedades biológicas y mecánicas deseadas.

En general, un recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos para películas delgadas de aleaciones ofrece una enorme versatilidad, lo que permite el desarrollo de materiales complejos con composiciones y propiedades específicas. Es una herramienta vital en industrias que van desde la electrónica y la energía hasta la atención médica y la investigación avanzada.

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