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Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos CC con cámara de acero inoxidable de alto vacío para película de PTFE

El equipo se puede utilizar en la preparación de películas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de PTFE, etc.En comparación con equipos similares, el recubridor con magnetrón de tres objetivos no solo se usa ampliamente sino que también tiene las ventajas de un volumen pequeño y una operación fácil.Es un equipo ideal para preparar películas de material en el laboratorio.
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  • TN-MSP300S-2DC1RF

  • TN

Presentamos el recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos DC con cámara de acero inoxidable de alto vacío, la solución definitiva para la preparación de películas de precisión.Diseñado para profesionales en el campo, este recubridor de vanguardia ofrece rendimiento y confiabilidad incomparables.


Este avanzado sistema está diseñado específicamente para la deposición de diversas películas, incluidas películas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras y películas de PTFE.Con sus capacidades versátiles, atiende a una amplia gama de aplicaciones, lo que la convierte en una herramienta indispensable tanto para investigadores como para expertos de la industria.


Con una cámara de acero inoxidable de alto vacío, esta recubridora garantiza un entorno impecable para la deposición de la película, minimizando la contaminación y maximizando la calidad de la película.La construcción robusta de la cámara garantiza una excelente durabilidad, lo que permite un funcionamiento ininterrumpido a largo plazo.


Equipada con tecnología de pulverización catódica con magnetrón, esta recubridora ofrece una deposición de película precisa y uniforme, lo que garantiza un control y una uniformidad excepcionales del espesor de la película.Esto permite a los investigadores lograr resultados consistentes y reproducibles, fundamentales para un análisis y una experimentación precisos.


El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos DC está diseñado pensando en la facilidad de uso.Su interfaz intuitiva y sus controles fáciles de usar hacen que la operación sea muy sencilla, incluso para quienes son nuevos en la tecnología.Además, su tamaño compacto y diseño eficiente optimizan la utilización del espacio, lo que lo convierte en un activo valioso en cualquier laboratorio o instalación de producción.


Invierta hoy en el recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos DC con cámara de acero inoxidable de alto vacío y descubra un mundo de posibilidades en la preparación de películas.Experimente una precisión, confiabilidad y versatilidad incomparables y lleve su investigación o producción a nuevas alturas.Confíe en nuestro equipo de calidad profesional para ofrecer resultados excepcionales en todo momento.

Tres parámetros técnicos de la recubridora por pulverización catódica con magnetrón objetivo:


Nombre del producto

Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos CC

Modelo del Producto

TN-MSP300S-2DC1RF

Fuente de alimentación por pulverización

Se instalaron dos fuentes de alimentación de CC.

Potencia CC: 500W  

Cámara de vacío

Cámara de vacío: 450 mm de diámetro x 450 mm de altura, ventana de observación de acero inoxidable: 100 mm de diámetro

Cabezal de pulverización magnetrón

El instrumento está equipado con   Tres cañones objetivo de pulverización de magnetrón objetivo de 3 pulgadas (uno de los cuales es un fuerte   Objetivo magnético y dos objetivos de imán permanente), y todos tienen refrigeración por agua.   capa intermedia, que se puede enfriar con agua de refrigeración para alcanzar el material objetivo

La tabla de muestra

Tamaño de la mesa de muestra: 150 mm de diámetro (la mesa de muestra puede girar con velocidad ajustable)   rango: 1-20 rpm)

La temperatura máxima de calentamiento de la mesa de muestra es de 750 ℃ ​​y la precisión del control de temperatura es de +/- 1,0 °C

Controlador de flujo de gas

Un medidor de flujo másico está instalado dentro del instrumento.

Rango: 0-200 sccm (argón)

El flujo de gas se puede configurar en un sistema de control inteligente con pantalla de 15,6 pulgadas

Bomba aspiradora

Equipado con un conjunto de molecular   Sistema de bomba, usando operación con un solo clic 600L/S

Indicador de vacio

Vacuómetro EF Kompirani MPG400  

Rango de medición: 5 x 10-9 mbar -- Presión atmosférica

Medidor de espesor de película

El medidor de espesor de la película vibratoria de cuarzo está montado en el equipo.   y puede monitorear el espesor de la película en tiempo real con una resolución de 0.1A.

Voltaje

220V 50HZ

Notas

1. Tres objetivos de pulverización de 3 pulgadas (un objetivo magnético fuerte y dos permanentes   objetivos magnéticos)

2.un medidor de flujo

3.cámara de vacío de acero inoxidable

4.grupo de bombas moleculares

5.medidor de espesor de película

6.dos fuentes de alimentación CC y una fuente de alimentación RF

7.unidad de enfriamiento de agua

8.con mesa de muestra de calentamiento rotativo

Sistema de control inteligente con pantalla de 9.15.6 pulgadas

10.compresor de aire

11.válvula de compuerta neumática controlada eléctricamente

12.válvula de corte controlada eléctricamente

13.válvula de bombeo lateral neumática controlada eléctricamente

14. Vacuómetro EF kang MPG 400 rango de medición


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