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Recubridor de pulverización por magnetrón DC RF de doble objetivo con tipo de objetivo inferior para revestimiento de metales nobles

Este dispositivo se puede utilizar para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de PTFE y similares.
Estado de Disponibilidad:
Cantidad:
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  • TN-MSP500S-DCRF-B

  • TN

Recubridor por pulverización catódica con magnetrón DC RF de doble objetivo con tipo de objetivo inferior para revestimiento de metales nobles

El recubridor por pulverización catódica con magnetrón DC RF de doble objetivo está equipado con un sistema de pulverización catódica con magnetrón DC RF de doble objetivo, lo que permite un recubrimiento eficiente y preciso de metales nobles.El tipo de objetivo inferior garantiza un recubrimiento uniforme en todo el sustrato, lo que da como resultado una deposición de película consistente y de alta calidad.


Con su tecnología avanzada, esta recubridora ofrece una excelente adhesión de la película, altas tasas de deposición y baja tensión de la película.También proporciona una amplia gama de parámetros de proceso, lo que permite la personalización y optimización de las condiciones del recubrimiento.La interfaz fácil de usar y los controles intuitivos facilitan la operación y el seguimiento del proceso de recubrimiento.


Esta recubridora por pulverización catódica es adecuada para laboratorios de investigación y desarrollo, universidades y aplicaciones industriales.Es ideal para diversas aplicaciones, como recubrimientos ópticos, dispositivos electrónicos, células solares, sensores y más.Su construcción robusta y su rendimiento confiable garantizan un funcionamiento eficiente y duradero.


En general, el recubridor por pulverización catódica con magnetrón DC RF de doble objetivo con tipo de objetivo inferior para recubrimiento de metales nobles es una solución versátil y confiable para la deposición de películas precisa y de alta calidad.Sus funciones avanzadas y su diseño fácil de usar lo convierten en una excelente opción para los profesionales en el campo.


Recubridor por pulverización catódica con magnetrón Parámetro técnico:


Modelo

TN-MSP500S-DCRF-B

Aporte

CA 220 V, 50 Hz.

Poder total

6kW

Grado de vacío máximo

5x10-4Pa

Parámetros de la tabla de muestra

Tamaño

150 diámetro.

Altura

70 mm ajustable

Calefacción

≤500 ℃

Velocidad de rotación

1-20 rpm

Parámetros del cabezal de pulverización catódica del magnetrón

Cantidad

2 juegos, 2 pulgadas

Modo de enfriamiento

Refrigerado por agua, caudal requerido 10 l/min.

Enfriador de agua

Refrigeración por agua circulante de 10 l/min.

Cámara de vacío

Tamaño

500 mmDía.× 490 mm de alto

Material

Acero inoxidable

ventana de observación

100 mm de diámetro.

modo abierto

puerta de apertura frontal

Controlador de flujo de gas

1 canal 200sccm Ar;

Bomba aspiradora

Bombeo del sistema de bomba molecular, 600L/S

Medidor de espesor de película

Medidor de espesor de película vibratoria de cuarzo.

Un juego, resolución 0,10 Å

Fuente de alimentación por pulverización

Fuente de alimentación CC: un juego, 500 W, para películas metálicas

Fuente de alimentación RF: un juego, 500 W, para películas no metálicas

Modo operativo

Operación de computadora todo en uno

Dimensiones totales

1090 mm x 900 mm x 1250 mm

Peso total

350 kilos


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