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TN-VPC-300
TN
La deposición en fase de aire verdadera de Perelin (PECVD) es una técnica de deposición de película delgada comúnmente utilizada para preparar películas delgadas en la superficie de un material.Es el proceso de depositar una película delgada en un ambiente de vacío mediante una reacción química en fase de vapor.En la deposición verdadera en fase de aire de Perelin, primero se debe establecer un ambiente de vacío para garantizar que no haya interferencia de gas durante el proceso. declaración. Entonces, por presentando el gas en el reacción cámara, él reacciona con la superficie y se deposita para formar una película.
La deposición en fase aérea verdadera de Perelin se puede utilizar para preparar varios tipos diferentes de películas, como la de silicio. nitruro, silicio óxido, aluminio nitruro, etc. Él tiene a ancho rango de aplicaciones en semiconductores, optoelectrónica, dispositivos de visualización y otros campos, y puede usarse para preparar resistencias de película delgada, recubrimientos ópticos, aislamiento térmico, etc.
Pirelin verdadero aire fase declaración tiene alguno ventajas, semejante como rápido declaración velocidad, buena deposición uniformidad y fuerte controlabilidad. Sin embargo, él también tiene alguno limitaciones, como la incapacidad de depositar una gran área de película delgada y la necesidad de un entorno de alto vacío.
En general, Perelin aire verdadero la deposición de fase es una importante técnica de preparación de películas que pueden proporcionar materiales cinematográficos de alta calidad en una variedad de aplicaciones.
Parámetros del equipo de deposición de aire verdadero Perelin
Nombre del dispositivo | Deposición de fase aérea verdadera de Perelin equipo | |||
Modelo del Producto | TN-VPC-300 | |||
Trabajar ambiente | Fuente de alimentación: 380V cinco hilos 4 cuadrados cable, potencia máxima l0KW | |||
Temperatura ambiente: 0-40 ℃ | ||||
Humedad ambiente: < 90% | ||||
Tamaño | El apariencia tamaño es 1580*880*1550mm, cubre un área de acerca de 1,5 cuadrados metros, y allá debería ser más que 50cm operando espacio alrededor de la instalación | |||
Parte de calefacción | Área de sublimación | Contenedor de materia prima: φ69*200mm Capacidad: 300g | ||
Temperatura de evaporación: temperatura ambiente 200℃ | ||||
Desviación de temperatura: ±2℃ | ||||
Agrietamiento Zona | Temperatura de agrietamiento: 650-700 ℃ Estabilidad de temperatura: ± 2 ℃ | |||
Aislamiento área | Temperatura de calentamiento < 300 . C | |||
Sistema de control | Marca | sistema de control plc | ||
Programa | Allá son dos partes para automático declaración sistema y sistema de deposición manual | |||
Mostrar | Tamaño de pantalla: pantalla táctil a color de 12 ' | |||
Deposicional sistema | Vacío sustrato | 1, tamaño φ300xH400, acero inoxidable 304 | ||
Cámara | 28L | |||
volumen | ||||
Observación ventana | 1 ventana de visualización para una fácil observación del condición del producto en el cámara de deposición | |||
Giratorio sección | Velocidad del motor ajustable 1-10 RPM | |||
Sistema de vacío | Bomba aspiradora | |||
Indicador de vacio | ||||
Refrigeración sistema | Frío TH-95-15 -G(tipo olla), refrigeración temperatura ≤90 。 C en 30 minutos después a partir de refrigeración poder ser de habitación temperatura a -70 . C | |||
Acoplamiento evaporación del agente dispositivo | Mejora la adherencia del perelín. recubrimiento a la superficie del sustrato a recubrir | |||
Principal partes de equipo | 1, sistema de evaporación: cámara de evaporación, energia electrica n dispositivo de calor, sensor de temperatura 2, sistema de craqueo: cámara de craqueo, dispositivo térmico eléctrico, sensor de temperatura 3, sistema de deposición: cámara de deposición, sensor de vacío, gradilla de muestras 4, sistema de vacío: bomba de vacío, vacuómetro 5, sistema de condensación: trampa de frío tipo olla 6, host del equipo: carcasa del equipo, circuito de control, tubo de vacío 7, tubo de cuarzo: 1 | |||
sedimentable tipo de materia prima | Parileno C, N, F, D | |||
Equipo Características | 1, el gasificación calefacción poder ser movido, adecuado para producción continua, semejante como repentino fuerza failure y otro Las circunstancias inesperadas se pueden eliminar en cualquier momento para garantizar que el producto seguridad. 2, la parte de gasificación es transparente tubo de vidrio, que puede ser visto en cualquier tiempo, y puede mantener la producción a baja temperatura para cumplir con los altos requisitos de recubrimiento. 3, la gasificación se puede mover, es enviar el establecimiento de patentes, puede garantizar sin conflicto de patentes, seguridad de producción. 4. El especial diseño de el interno giratorio marco de el cavidad puede reducir efectivamente el número de malos puntos. 5. Interfaz visual y humanizada, sencilla. para entender el funcionamiento.6, tubo de vidrio, puede reducir en gran medida el calentamiento y tiempo de enfriamiento. 7. La parte de aislamiento está optimizada, por lo que que Perelin no es fácil de depositar en la pared interior del tubo de vidrio, que se puede mantener durante un largo tiempo y reducir el tiempo de mantenimiento | |||
La deposición en fase de aire verdadera de Perelin (PECVD) es una técnica de deposición de película delgada comúnmente utilizada para preparar películas delgadas en la superficie de un material.Es el proceso de depositar una película delgada en un ambiente de vacío mediante una reacción química en fase de vapor.En la deposición verdadera en fase de aire de Perelin, primero se debe establecer un ambiente de vacío para garantizar que no haya interferencia de gas durante el proceso. declaración. Entonces, por presentando el gas en el reacción cámara, él reacciona con la superficie y se deposita para formar una película.
La deposición en fase aérea verdadera de Perelin se puede utilizar para preparar varios tipos diferentes de películas, como la de silicio. nitruro, silicio óxido, aluminio nitruro, etc. Él tiene a ancho rango de aplicaciones en semiconductores, optoelectrónica, dispositivos de visualización y otros campos, y puede usarse para preparar resistencias de película delgada, recubrimientos ópticos, aislamiento térmico, etc.
Pirelin verdadero aire fase declaración tiene alguno ventajas, semejante como rápido declaración velocidad, buena deposición uniformidad y fuerte controlabilidad. Sin embargo, él también tiene alguno limitaciones, como la incapacidad de depositar una gran área de película delgada y la necesidad de un entorno de alto vacío.
En general, Perelin aire verdadero la deposición de fase es una importante técnica de preparación de películas que pueden proporcionar materiales cinematográficos de alta calidad en una variedad de aplicaciones.
Parámetros del equipo de deposición de aire verdadero Perelin
Nombre del dispositivo | Deposición de fase aérea verdadera de Perelin equipo | |||
Modelo del Producto | TN-VPC-300 | |||
Trabajar ambiente | Fuente de alimentación: 380V cinco hilos 4 cuadrados cable, potencia máxima l0KW | |||
Temperatura ambiente: 0-40 ℃ | ||||
Humedad ambiente: < 90% | ||||
Tamaño | El apariencia tamaño es 1580*880*1550mm, cubre un área de acerca de 1,5 cuadrados metros, y allá debería ser más que 50cm operando espacio alrededor de la instalación | |||
Parte de calefacción | Área de sublimación | Contenedor de materia prima: φ69*200mm Capacidad: 300g | ||
Temperatura de evaporación: temperatura ambiente 200℃ | ||||
Desviación de temperatura: ±2℃ | ||||
Agrietamiento Zona | Temperatura de agrietamiento: 650-700 ℃ Estabilidad de temperatura: ± 2 ℃ | |||
Aislamiento área | Temperatura de calentamiento < 300 . C | |||
Sistema de control | Marca | sistema de control plc | ||
Programa | Allá son dos partes para automático declaración sistema y sistema de deposición manual | |||
Mostrar | Tamaño de pantalla: pantalla táctil a color de 12 ' | |||
Deposicional sistema | Vacío sustrato | 1, tamaño φ300xH400, acero inoxidable 304 | ||
Cámara | 28L | |||
volumen | ||||
Observación ventana | 1 ventana de visualización para una fácil observación del condición del producto en el cámara de deposición | |||
Giratorio sección | Velocidad del motor ajustable 1-10 RPM | |||
Sistema de vacío | Bomba aspiradora | |||
Indicador de vacio | ||||
Refrigeración sistema | Frío TH-95-15 -G(tipo olla), refrigeración temperatura ≤90 。 C en 30 minutos después a partir de refrigeración poder ser de habitación temperatura a -70 . C | |||
Acoplamiento evaporación del agente dispositivo | Mejora la adherencia del perelín. recubrimiento a la superficie del sustrato a recubrir | |||
Principal partes de equipo | 1, sistema de evaporación: cámara de evaporación, energia electrica n dispositivo de calor, sensor de temperatura 2, sistema de craqueo: cámara de craqueo, dispositivo térmico eléctrico, sensor de temperatura 3, sistema de deposición: cámara de deposición, sensor de vacío, gradilla de muestras 4, sistema de vacío: bomba de vacío, vacuómetro 5, sistema de condensación: trampa de frío tipo olla 6, host del equipo: carcasa del equipo, circuito de control, tubo de vacío 7, tubo de cuarzo: 1 | |||
sedimentable tipo de materia prima | Parileno C, N, F, D | |||
Equipo Características | 1, el gasificación calefacción poder ser movido, adecuado para producción continua, semejante como repentino fuerza failure y otro Las circunstancias inesperadas se pueden eliminar en cualquier momento para garantizar que el producto seguridad. 2, la parte de gasificación es transparente tubo de vidrio, que puede ser visto en cualquier tiempo, y puede mantener la producción a baja temperatura para cumplir con los altos requisitos de recubrimiento. 3, la gasificación se puede mover, es enviar el establecimiento de patentes, puede garantizar sin conflicto de patentes, seguridad de producción. 4. El especial diseño de el interno giratorio marco de el cavidad puede reducir efectivamente el número de malos puntos. 5. Interfaz visual y humanizada, sencilla. para entender el funcionamiento.6, tubo de vidrio, puede reducir en gran medida el calentamiento y tiempo de enfriamiento. 7. La parte de aislamiento está optimizada, por lo que que Perelin no es fácil de depositar en la pared interior del tubo de vidrio, que se puede mantener durante un largo tiempo y reducir el tiempo de mantenimiento | |||
