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Sistema PECVD (ICP PECVD) para la deposición de películas gruesas de SiOx Ge-SiOx

PECVD (deposición química de vapor) es una técnica de deposición de película delgada comúnmente utilizada, que implica la reacción de reactivos en fase gaseosa con una superficie de sustrato a altas temperaturas para formar una película delgada.
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Presentamos nuestros sistemas CVD (deposición química de vapor) de vanguardia, diseñados para revolucionar el procesamiento de materiales de sustrato.Con la máxima precisión y confiabilidad, nuestros sistemas CVD están diseñados para atender una amplia gama de materiales, incluidos silicio, vidrio, metales y más.


Elaborados con experiencia líder en la industria, nuestros sistemas CVD garantizan un rendimiento excepcional y resultados consistentes, lo que los convierte en una opción ideal para diversas aplicaciones.Ya sea que trabaje con sustratos de vidrio delicados o superficies metálicas robustas, nuestros sistemas CVD ofrecen una calidad y eficiencia incomparables.


Equipados con tecnología avanzada, nuestros sistemas CVD ofrecen un proceso de deposición controlado y sin interrupciones.Con un control preciso de la temperatura, la presión y el flujo de gas, puede lograr las características de película deseadas con la máxima precisión.Este nivel de control garantiza recubrimientos uniformes y sin defectos, mejorando el rendimiento general y la durabilidad de sus productos.


Nuestros sistemas CVD están diseñados pensando en la facilidad de uso, con interfaces intuitivas y operaciones optimizadas.Con una formación mínima requerida, puede operar el sistema sin esfuerzo, ahorrando tiempo y recursos valiosos.


Además, nuestros sistemas CVD están diseñados para cumplir con los más altos estándares de seguridad, lo que garantiza un entorno de trabajo seguro.Con sólidas funciones de seguridad y sistemas de monitoreo integrales, puede estar tranquilo al utilizar nuestro equipo.


Invierta en nuestros sistemas CVD de última generación y descubra posibilidades ilimitadas para sus necesidades de procesamiento de materiales de sustrato.Experimente un rendimiento inigualable, una confiabilidad inigualable y una calidad excepcional con nuestros sistemas CVD de nivel profesional.Eleve sus capacidades de producción y manténgase a la vanguardia en el competitivo mercado actual.

RF   fuente de alimentación

Señal   frecuencia

13,56MHz±0,005%

Fuerza   rango de salida

0~300W

Máximo   poder reflejado

100W

reflejado   potencia (a máxima potencia)

<3W

Fuerza   estabilidad

±0,1%

horno tubular

Tubo   material

Alto   cuarzo pureza

Exterior   diámetro del tubo

100mm

Tubo   longitud

1200 mm

Horno   longitud de la cámara

440 mm

Calefacción   longitud de la zona

200mm+200mm   (dos zonas de temperatura)

Constante   longitud de la zona de temperatura

200 mm

Continuo   temperatura de trabajo

Máx.1100℃

Temperatura   precisión del control

±1℃

Temperatura   modo de control

30   control de temperatura del programa de segmento

Mostrar   modo

LCD

Sellando   método

304   brida de vacío de acero inoxidable

Gas   suministrar

sistema

Modelo

CY-6Z

Canal   números

6

Medición   unidad

Masa   controlador de flujo

Medición   rango

A   canal: 0~200SCCM   Para H2  

Observaciones:   Si se requieren otros rangos, especifique al realizar el pedido.De acuerdo con la   Requisitos específicos del cliente, el medidor de flujo del tipo de gas correspondiente   y el alcance es opcional.

B   canal: 0~200SCCM   para CH4

C   canal: 0~200SCCM   para C2H4

C   canal: 0~500SCCM   para norte2

D   canal: 0~500SCCM   para NH3

E   canal: 0~500SCCM   para Ar

Precisión de la medición

±1,5% FS

Laboral   diferencia de presión

-0,15 MPa ~ 0,15 MPa

Conectando   tubo

304   acero inoxidable

Gas   canal

304   válvula de aguja de acero inoxidable

Interfaz   especificación

1/4'   conector de virola para entrada y salida de gas

Vacío   sistema

Mecánico   bomba

Doble etapa   bomba de paletas rotativas

Bombeo   tasa

1.1L/S  

Vacío   medición

Resistencia   indicador

Último   vacío

1.0E-1Pa

Bombeo   interfaz

KF16

Corredizo   carril

Poder   lograr el deslizamiento del horno de dos zonas de temperatura, para lograr una temperatura rápida   levantarse y caer.

Fuerza   suministrar

CA 220 V.   50Hz


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