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Sistema CVD de bajo vacío con tres zonas de calentamiento de 1200 ℃ y caudalímetro flotante de 3 canales para suministrar gas

La máquina de deposición química de vapor es adecuada para sinterización a alta temperatura, recocido de metales, inspección de calidad, etc. en universidades, institutos de investigación, empresas industriales y mineras, especialmente para experimentos de CVD que requieren una variedad de atmósferas de mezcla de gases.
 
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  • TN-1200X-III-50IC

  • TN

Este equipo consta de un horno tubular de tres zonas de calentamiento y un caudalímetro flotante de tres canales.La temperatura de las tres zonas de calentamiento del horno tubular se controla de forma independiente mediante el instrumento de control de temperatura de precisión.Al ajustar la temperatura de cada zona de temperatura, el horno tubular puede formar tres gradientes de temperatura en la zona de calentamiento o formar una zona larga de temperatura constante.Cada zona se puede editar con 30 secciones de subida y bajada de temperatura, con protección contra sobrecalentamiento y cortocircuito.Las bridas a ambos lados del tubo del horno están equipadas con un vacuómetro digital y un manómetro mecánico, que se pueden utilizar para controlar la atmósfera en el tubo del horno.Al mismo tiempo, el horno tubular se opera mediante una pantalla táctil de alta definición a todo color, que es fácil de usar.Incluso los no profesionales pueden dominar el uso del instrumento después de una simple capacitación, lo que puede mejorar en gran medida la eficiencia de su experimento.

El sistema está equipado con un caudalímetro flotante de tres canales, que puede preparar con precisión la mezcla de gases necesaria para el experimento.Se instala otro manómetro en la parte frontal del caudalímetro de flotador para controlar la presión del gas y la presión del tanque de mezcla.

Es adecuado para sinterización a alta temperatura, recocido de metales, inspección de calidad, etc. en universidades, institutos de investigación, empresas industriales y mineras, especialmente para experimentos de CVD que requieren una variedad de atmósferas de mezcla de gases.

Tubo vacío   horno

Modelo

TN-1200X-III-50IC

Material del tubo

Alta pureza   cuarzo

Diametro del tubo

50mm

Longitud del tubo

1000 mm

Cámara del horno   longitud

660 mm

Zona de calentamiento   longitud

200 mm+200 mm+200 mm

Operando   temperatura

0~1100℃

Temperatura   precisión del control

±1℃

Temperatura   modo de control

30 o 50   control de temperatura del programa de segmentos

Modo de visualización

CONDUJO   (resalte la pantalla del tubo digital)

Sellando   método

304   brida de vacío de acero inoxidable

Brida   interfaz

corte de 1/4'   junta de manguito (junta de pagoda Ø8)

Vacío

4,4×10E-3Pensilvania

Fuente de alimentación

CA: 220V   50/60Hz

Suministro de gas   sistema

Modelo

CY-3F

canal de gas

3 canales

Medición   unidad

flotador de gas   medidor de corriente

Medición   rango

Canal A: 0~100 ml de gas H2

Observaciones: Si   Si necesita otras cocinas o tipos de gas, deberá especificarlo al realizar el pedido.   Según los requisitos específicos del cliente, el medidor de flujo del   Se puede seleccionar el tipo y rango de gas correspondiente.

Canal B: 16~160ml de gas N2

Canal C: 25 ~ 250 ml de gas Ar

medición   exactitud

±2,0%

Tubo   resistencia a la presión

3MPa

Laboral   diferencia de presión

50~500KPa

Conectando   tubo

304   acero inoxidable

canal de gas

304 inoxidable   válvula de aguja de acero

Interfaz   especificación

corte de 1/4'   junta de manguito para entrada y salida de gas

Escape   sistema

Mecánico   bomba

GHD-031B

Tasa de bombeo

4L/S

Escape   interfaz

KF16

Vacío   medición

Calibre Piraní

Último   vacío

1×10E-1Pa

Fuente de alimentación

CA: 220V   50/60Hz

Bombeo   interfaz

KF40


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