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Horno de recubrimiento por evaporación de proximidad de 5 pulgadas para células solares de CdTe, sulfuro y perovskita

El horno de recubrimiento por evaporación de proximidad de 5 pulgadas es una herramienta experimental ideal para explorar la nueva generación de células solares de película delgada, como células solares de CdTe, sulfuro y perovskita.
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  • TN-1200X-RTP-II

  • TN

El horno de revestimiento por evaporación de proximidad de 5 pulgadas es un procesamiento térmico rápido de dos zonas de calentamiento  Horno con tubo de cuarzo de 11' de diámetro interior. Está diseñado para recubrimiento de película PVD o CSS (Sublimación en espacios cerrados) de hasta 3' de diámetro o 2'x2' cuadrados.El horno se calienta mediante dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con máx.Velocidad de calentamiento de 20ºC/s.Se incorporan dos controladores de temperatura de precisión de 30 segmentos con una precisión de +/-1ºC.Se incluyen un puerto RS485 y un software de control para permitir el funcionamiento del horno y el registro del perfil de temperatura a través de una PC.  Es una excelente herramienta para investigar películas delgadas de nueva generación para células solares, como células solares de CdTe, Sufide y Perovskita.

Especificación:

Estructura del horno y

Cámara de vacío

horno, dos   Controladores de temperatura, medidores de flujo de gas de dos canales están integrados en un   marco móvil de aleación de aluminio

La cámara es   hecho de tubo de cuarzo fundido de alta pureza

Tamaño del tubo de cuarzo:   11' de diámetro exterior/10,8' de diámetro interior x 9' de alto

Las bridas de vacío   están hechos de acero inoxidable 316

Bridas de vacío

Brida superior con un puerto de vacío KFD-25 y una salida de gas (1/4'   Se requiere tubería) puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y   material evaporado fácilmente

La brida inferior tiene un puerto de vacío KFD-25 con una entrada de gas (1/4'   requiere tubo) con válvulas de aguja

La brida está sellada mediante juntas tóricas dobles de silicona y puede alcanzar un máximo.   presión de vacío de 10E-2 Torr mediante una bomba mecánica de calidad y 10E-5 Torr mediante   bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, pídala por separado)

Hay un vacuómetro digital instalado en la brida superior.  

El vacuómetro digital anticorrosión de precisión es opcional con un costo adicional   costo

Medidores de flujo de gas

Mezclador de gas integrado con dos   Flotadores con rangos de medición ajustables de:

16-160 ml/m

500 - 5000 ml/m (para purga)

Calentador y portamuestras

dos independientemente   Calentadores controlados con espacio ajustable manualmente de 2 a 30 mm.

20 piezas halógenas   Las lámparas se utilizan como elemento calefactor para un rápido procesamiento térmico.

Los calentadores son   fabricado en acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y   permitir un enfriamiento rápido.

5' de diámetro.   El soporte circular para oblea está integrado en el calentador superior para sujetar el sustrato.

Un juego de alto   Se incluyen placas de AlN termoconductoras (5' de diámetro x 0,5 mm de espesor)   (coloque en la parte posterior del sustrato para que se caliente uniformemente).

16L/min   Se incluye un enfriador de agua con recirculación para ahorrar agua.

Controlador de temperatura

Dos temperaturas digitales de precisión   Los controladores con 30 segmentos programables ofrecen control independiente de   calentadores superiores e inferiores

Cada controlador tiene ajuste automático PID   función para proteger los calentadores contra sobrecalentamiento y función de alarma para evitar   sobrecalentamiento y par térmico roto

Temperatura de trabajo

Máx.temperatura   para cada calentador: <= 800ºC

Máx.temperatura   diferencia entre dos calentadores: <= 300ºC depende del espacio entre dos   calentadores:

Espaciado 30 mm  Máx.diferencia de temperatura:  315ºC @ calefacción inferior solamente

Tasa de calefacción y refrigeración

Calefacción: >   8ºC/s (calefacción solo calentador individual)

Enfriamiento: >   10ºC/s (600 - 100ºC) Máx.

Pareja térmica

Dos pares térmicos tipo K son   instalado en los calentadores superior e inferior por separado

Tensión de trabajo

208 - 240VAC, monofásico, 20A aire   interruptor automático

Requisitos de energía

2200W en total (1100W para cada uno)   calentador)

Garantía

Un año limitado con tiempo de vida.   apoyo

Dimensions

1085 mm de largo x 680 mm de ancho x 1710 mm de alto




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