Recubrimiento por evaporación de seis fuentes con guantera de una sola estación para batería de células solares de perovskita

Apariencia

1   Juego de cámara de vacío en forma de D de acero inoxidable 304 de alta calidad, el interior   El tamaño de la cámara de vacío es D400*480 mm, las puertas dobles delanteras y traseras,   Y la puerta trasera adopta una puerta cuadrada con bisagras, que es conveniente para   limpieza de la cámara de vacío, depuración interna, mantenimiento y   recoger y colocar muestras;

El   La puerta delantera adopta una puerta cuadrada de tracción horizontal, y cada puerta delantera y trasera   está equipado con 1 juego de ventanas DN100;

Abajo

2   juegos de interfaces de fuente metálica, 4 juegos de interfaces de fuente orgánica, 1 juego   de interfaz de bomba molecular, 2 juegos de interfaces de iluminación y 3 juegos de película   interfaces de sonda de espesor;

Arriba

1   conjunto de interfaz de etapa de muestra, 1 conjunto de interfaz de deflector eléctrico, 1 conjunto de   interfaz de válvula deflectora neumática de alto vacío;

Izquierda   lado

1   Conjunto de interfaz de válvula de aleta neumática de alto vacío.

2.Metal/Orgánico   Sistema fuente

Metal   fuente

Cantidad:   2 juegos

2   juegos de electrodos de cobre refrigerados por agua, compatibles con barcos de evaporación   (barcos de tungsteno, molibdeno y tantalio) y alambres en espiral, equipados con   deflectores neumáticos, 1 juego de fuente de alimentación de corriente constante de 1KW CC (digital   Pantalla), precisión de ajuste actual 1A (ajuste fino), la potencia cumple   común Evaporación de metales y óxidos metálicos;

Orgánico   fuente

Cantidad:   4 juegos

4CC   barco de cuarzo, 2 fuentes de alimentación de control de temperatura (medidor de control de temperatura   Precisión de visualización 0,1 °C), rango de temperatura: RT ~ 500 °C (control de temperatura   precisión ±1°C), con deflector neumático;

Deflector  

El   La fuente de evaporación es independiente entre sí y el deflector es   separados para evitar la contaminación cruzada

3.Muestra   Sistema de escenario

sustrato   rotation

El   la velocidad se puede ajustar continuamente de 0 a 30 rpm;

sustrato   levantamiento

Eléctrico   levantamiento, la distancia entre el sustrato y la fuente de evaporación es de 200 ~ 300 mm   continuamente ajustable a través de la pantalla táctil;

Muestra   poseedor

20*20mm   sustrato 8 piezas

sustrato   obturador

Eléctrico   obturador

4.Vacío   Sistema

Vacío   conjunto de bomba

1)   1 juego de bomba molecular de 600 l/s;

2)   1 juego de bomba de paletas rotativa de 8L/s

3)   1 juego de válvula de compuerta neumática de alto vacío CF150;

4)   1 juego de válvula de aleta neumática de alto vacío CF40;

5)   2 juegos de válvulas de aleta neumáticas de alto vacío KF16;

6)   1 juego de válvula de aleta neumática de alto vacío KF40;

7)   1 juego de válvula solenoide de vacío KF40;

8)   2 juegos de mangueras de conexión de válvula de bomba KF40, 1 juego de T KF40;

9)   1 juego de vacuómetro digital (rango de medición: 1×10⁵~1×10^-5Pensilvania)

5.Película   Sistema de monitoreo de espesor

Película   medidor de espesor

1   Conjunto de monitor de espesor de película de cristal de cuarzo de tres canales.

Película   sonda de espesor

3   Juegos de sonda de espesor de película refrigerada por agua CF35

6.Equipo   Rack

1)   1 juego de marco de soldadura de 40 tubos cuadrados de acero al carbono;

2)   4 piezas de ruedas universales, mover y ajustar;

3)   4 piezas de pies M16, bloqueados y posicionados.

7.Electrónico   Sistema de control

Fuerza   suministro de fuente de metal

1   colocar

Fuerza   suministro de fuente orgánica

2   conjuntos (uno para dos)

Evaporación   fuente de alimentación del deflector

1   colocar

Tres canales   monitor de espesor de película de cristal de cuarzo

1   colocar

Muestra   mesa y su fuente de alimentación deflectora

1   colocar

Horneando   fuente de alimentación de iluminación

1   colocar

SOCIEDAD ANÓNIMA   control

1   conjunto, equipado con pantalla táctil

Total   controlar la fuente de alimentación

1   colocar

8.     Soltero   Guantera de la estación de trabajo

(Con   lado izquierdo extraíble, sin sistema de purificación de gas ni analizadores)

Cámara   tamaño

L1200*   Ancho 750* Alto 900 mm

Guantes

1   par

Grande   antecámara

Interno   diámetro 360 mm, longitud 600 mm

Pequeño   antecámara

Interno   diámetro 150 mm, longitud 300 mm

9.Otro   Parámetros

1)   Protección contra pérdida de fase, protección contra mal funcionamiento, enclavamiento de enlace y llave única   funciones de inicio y parada de vacío;

2)   Fuente de alimentación: sistema de alimentación bifásico ~220V (pico 3KW);

3)   Suministro de agua: enfriador pequeño, temperatura del agua de refrigeración 5 ℃ ~ 35 ℃,   temperatura ambiente de trabajo: 10 ℃ ~ 40 ℃;

4)   Suministro de aire: pequeña bomba de aire silenciosa sin aceite, que proporciona una presión de aire de 0,2-0,3 MPa   accionar válvulas neumáticas;

5)   Vacío máximo: 6×10^-5Pa, el tiempo desde la atmósfera hasta el 6×10^-4Pensilvania   es inferior a 35 minutos (llénelo con nitrógeno seco), apáguelo durante 12 horas   grado de vacío≤10Pa.