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Instrumento de revestimiento por evaporación de alto vacío con fuentes de evaporación múltiples con cuatro fuentes de calentamiento para película semiconductora

Fuentes de evaporación múltiple Instrumento de revestimiento por evaporación de alto vacío que se utiliza principalmente para la preparación de diversas películas conductoras, películas semiconductoras, películas ferroeléctricas, películas ópticas, microprocesamiento de dispositivos micronano, pretratamiento de muestras de microscopio electrónico, etc.
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  • TN

Presentamos nuestro recubridor de evaporación de alto vacío con fuentes de evaporación múltiple para deposición de Ti y Au para contactos.Este equipo de última generación está diseñado para proporcionar un rendimiento y precisión excepcionales en el proceso de deposición.


Nuestro recubridor por evaporación de alto vacío está construido con la última tecnología, enfocándose principalmente en la evaporación de fuentes metálicas/orgánicas.Esto lo convierte en una opción ideal para diversas aplicaciones, incluida la preparación de elementos metálicos, óxidos, dieléctricos y películas semiconductoras.


Con sus características y capacidades avanzadas, este recubridor garantiza un ambiente de alto vacío, lo que permite una deposición precisa y controlada de titanio (Ti) y oro (Au) para contactos.El resultado es un recubrimiento uniforme y confiable, esencial para lograr un rendimiento óptimo en dispositivos electrónicos y otras industrias relacionadas.


Este equipo de calidad profesional está diseñado para satisfacer las demandas de laboratorios de investigación, universidades e instalaciones industriales.Su construcción robusta garantiza durabilidad y longevidad, asegurando años de servicio confiable.


Además, nuestro revestidor de evaporación de alto vacío con fuentes de evaporación múltiples cuenta con controles fáciles de usar y una interfaz intuitiva, lo que permite a los operadores configurar parámetros y monitorear fácilmente el proceso de deposición.Esto mejora la productividad y la eficiencia, ahorrando tiempo y recursos valiosos.


Además de su rendimiento excepcional, esta recubridora cumple con los más altos estándares de seguridad, proporcionando un entorno seguro para los operadores durante todo el proceso de deposición.


Invierta en nuestro recubridor de evaporación de alto vacío con fuentes de evaporación múltiple para deposición de Ti y Au para contactos, y experimente el pináculo de la precisión y confiabilidad en la deposición de películas delgadas.Confíe en nuestro equipo de calidad profesional para satisfacer sus necesidades de investigación y producción con la máxima eficiencia y precisión.


Parámetros técnicos:


Muestra   escenario

Tamaño

máx.   soporte de muestra de φ150 mm

Altura

Adjustable   arriba y abajo 70mm

Evaporación   fuente

Cantidad

Tungsteno   Barco x2



Vacío   cámara

Cámara   tamaño

Día.   300 mm x 400 mm

Observación   ventana

Frente   φ100mm con hoja de sombreado

Cámara   material

304   acero inoxidable

Apertura   método

Frente   puerta abierta

Película   control de espesor

Cristal   instrumento de medición de espesor de película vibratoria, película multicanal opcional   controlador de espesor

Vacío   sistema

Apoyo   bomba

Doble   bomba de paletas rotativa de etapa

Bombeo   puerto

KF16

Secundario   bomba

Turbo   bomba molecular

Bombeo   puerto

CF160

Vacío   medición

Resistencia   + ionización

Compuesto   indicador de vacio

Escape   tasa

Mecánico   bomba 1.1L/s

Molecular   bomba 600L/s

Último   vacío

1.0E-5Pa

Fuerza   suministrar

CA 220 V 50/60 Hz

Bombeo   tasa

Giratorio   bomba de paletas: 1.1L/S

Medidor de corriente

Uno   Medidor de flujo másico de vía 500sccm gas Ar

Control   Sistema

SOCIEDAD ANÓNIMA   Control automático

Operación   Interfaz: pantalla táctil + panel de operación

Otro

Suministrar   Voltaje

CA 380 V, 50 Hz.

Máquina   tamaño

1000 mm x 800 mm x 1500 mm

Total   fuerza

5kW

Máquina   peso

350 kilos






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