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Caoter de pulverización de magnetrón de doble objetivo con etapa de muestra alternativa para grafito sobre lámina de cobre y lámina de aluminio

Recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón específico para laboratorio con dos posiciones objetivo desarrollado por nuestra empresa.El equipo está equipado con una fuente de alimentación de CC y una fuente de alimentación de radiofrecuencia, que se pueden utilizar para preparar películas eléctricas de hierro de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, etc.
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TN-MSP500S-DCRF-RE es un recubridor por pulverización catódica con magnetrón específico para laboratorio con dos posiciones objetivo desarrollado por nuestra empresa.El equipo está equipado con una fuente de alimentación de CC y una fuente de alimentación de radiofrecuencia, que se pueden utilizar para preparar películas eléctricas de hierro de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, etc.

Características:

a.      En comparación con la pulverización catódica ordinaria, la pulverización catódica con magnetrón tiene las ventajas de alta energía y velocidad, alta tasa de recubrimiento, bajo aumento de temperatura de la muestra y es una pulverización típica de alta velocidad y baja temperatura.

b.      El objetivo de pulverización catódica del magnetrón está equipado con una capa intermedia refrigerada por agua.La máquina enfriada por agua puede eliminar el calor de manera efectiva y evitar la acumulación de calor en la superficie objetivo, de modo que la pulverización catódica del magnetrón pueda funcionar de manera estable durante mucho tiempo.

C.       La plataforma de muestra adopta un diseño alternativo y el lado izquierdo está equipado con una varilla de empuje de acoplamiento magnético, que puede empujar la plataforma de muestra hacia izquierda y derecha.

d.      Toda la máquina adopta control de pantalla táctil, programa de recubrimiento incorporado con un solo botón, fácil de operar, es un equipo ideal para la preparación de películas en laboratorio.

Parámetro técnico:

Modelo

TN-MSP500S-DCRF-RE

Aporte

CA 220 V, 50 Hz.

Poder total

6kW

Grado de vacío máximo

5x10-4Pa

Parámetros de la tabla de muestra

Tamaño

100 mm x 100 mm

Golpe alternativo

200 mm

Parámetros del cabezal de pulverización catódica del magnetrón

Cantidad

2 juegos, 2 pulgadas

Modo de enfriamiento

Enfriado por agua, requerido   caudal10L/min

Enfriador de agua

Refrigeración por agua circulante de 10 l/min.

Cámara de vacío

Tamaño

φ500 mm x 490 mm de alto

Material

Acero inoxidable

ventana de observación

ø100mm

modo abierto

puerta de apertura frontal

Controlador de flujo de gas

1 canal 200sccm Ar;

Bomba aspiradora

Sistema de bomba molecular bombeo600L/S

Medidor de espesor de película

Película vibratoria de cuarzo   Medidor de espesor, un juego, resolución   0,10 Å

Fuente de alimentación por pulverización

Fuente de alimentación CC: una   set, 500W, para preparar metal   Película (s

Fuente de alimentación RF: una   Juego, 500 W, para no metálicos.   revestimiento

Modo operativo

Operación de computadora todo en uno

Dimensiones totales

1090 mm x 900 mm x 1250 mm

Peso total

350 kilos



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