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Objetivos de pulverización catódica de nitruro de tantalio (TaN)

objetivos de pulverización catódica, fuentes de evaporación y otros materiales de deposición
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Especificaciones del nitruro de tantalio (TaN):

tipo de material

Nitruro de tantalio

Símbolo

Broncearse

Color/Apariencia

Negro, Sólido Cristalino

Punto de fusión (°C)

3.360

Densidad Teórica (g/cc)

16.3

Relación Z

**1.00

Chisporroteo

RF, RF-R

Densidad de potencia máxima

(vatios/pulgada cuadrada)

20*

Tipo de bono

Indio, Elastómero

Comentarios

Evaporar Ta en 10-3 Torr N2.

tipo de material

Nitruro de tantalio


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