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Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos de 3 pulgadas con cámara de acero inoxidable de alto vacío para película de PTFE

El recubridor de magnetrón de tres objetivos se puede utilizar en la preparación de películas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de PTFE, etc.En comparación con equipos similares, el recubridor con magnetrón de tres objetivos no solo se usa ampliamente sino que también tiene las ventajas de un volumen pequeño y una operación fácil.Es un equipo ideal para preparar películas de material en el laboratorio.
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  • TN-MSP300S-2DC1RF

  • TN

Presentamos nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos: la solución perfecta para todas sus necesidades de preparación de películas.Esta recubridora de calidad profesional está diseñada para ofrecer un rendimiento y una precisión excepcionales, lo que la convierte en una herramienta indispensable para investigadores, científicos e ingenieros.


Con su tecnología avanzada, nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos permite la preparación de películas de una o varias capas con facilidad.Ya sea que esté trabajando en películas ferroeléctricas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras o películas de PTFE, este recubridor lo tiene cubierto.


Con tres objetivos, esta recubridora permite la deposición simultánea de múltiples materiales, lo que le ahorra tiempo y esfuerzo.El proceso de pulverización catódica con magnetrón garantiza la deposición uniforme y controlada de la película, lo que da como resultado resultados reproducibles y de alta calidad.


Nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos está equipado con características de última generación para mejorar su productividad y eficiencia.La interfaz fácil de usar y los controles intuitivos hacen que la operación sea muy sencilla, incluso para aquellos nuevos en la tecnología de pulverización catódica.Además, la recubridora cuenta con una construcción robusta y un rendimiento confiable, lo que garantiza una durabilidad duradera y un rendimiento constante.


Invierta hoy en nuestro recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos y descubra infinitas posibilidades en la preparación de películas.Experimente el poder de la tecnología avanzada y la precisión, respaldados por nuestro compromiso de ofrecer equipos de calidad profesional.Lleve su investigación y desarrollo a nuevas alturas con nuestra recubridora confiable y versátil.

Tres parámetros técnicos de la recubridora por pulverización catódica con magnetrón objetivo:

Nombre del producto

Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos: posición inferior del objetivo   pistola (interfaz de operación en inglés)

Modelo del Producto

TN-MSP300S-2DC1RF

Fuente de alimentación por pulverización

Se instalaron dos fuentes de alimentación de CC y una fuente de alimentación de RF.

Potencia CC: 500W  Potencia de radiofrecuencia: 300W

Cámara de vacío

Cámara de vacío: 450 mm de diámetro x 450 mm de altura, ventana de observación de acero inoxidable: 100 mm de diámetro

Cabezal de pulverización magnetrón

El instrumento está equipado con   Tres cañones objetivo de pulverización de magnetrón objetivo de 3 pulgadas (uno de los cuales es un fuerte   Objetivo magnético y dos objetivos de imán permanente), y todos tienen refrigeración por agua.   capa intermedia, que se puede enfriar con agua de refrigeración para alcanzar el material objetivo

La tabla de muestra

Tamaño de la mesa de muestra: 150 mm de diámetro (la mesa de muestra puede girar con velocidad ajustable)   rango: 1-20 rpm)

La temperatura máxima de calentamiento de la mesa de muestra es de 750 ℃ ​​y la precisión del control de temperatura es de +/- 1,0 °C

Controlador de flujo de gas

Un medidor de flujo másico está instalado dentro del instrumento.

Rango: 0-200 sccm (argón)

El flujo de gas se puede configurar en un sistema de control inteligente con pantalla de 15,6 pulgadas

Bomba aspiradora

Equipado con un conjunto de molecular   Sistema de bomba, usando operación con un solo clic 600L/S

Indicador de vacio

Vacuómetro EF Kompirani MPG400  

Rango de medición: 5 x 10-9 mbar -- Presión atmosférica

Medidor de espesor de película

El medidor de espesor de la película vibratoria de cuarzo está montado en el equipo.   y puede monitorear el espesor de la película en tiempo real con una resolución de 0.1A.

Voltaje

220V 50HZ

Notas

1. Tres objetivos de pulverización de 3 pulgadas (un objetivo magnético fuerte y dos permanentes   objetivos magnéticos)

2.un medidor de flujo

3.cámara de vacío de acero inoxidable

4.grupo de bombas moleculares

5.medidor de espesor de película

6.dos fuentes de alimentación CC y una fuente de alimentación RF

7.unidad de enfriamiento de agua

8.con mesa de muestra de calentamiento rotativo

Sistema de control inteligente con pantalla de 9.15.6 pulgadas

10.compresor de aire

11.válvula de compuerta neumática controlada eléctricamente

12.válvula de corte controlada eléctricamente

13.válvula de bombeo lateral neumática controlada eléctricamente

14. Vacuómetro EF kang MPG 400 rango de medición



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