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Recubridor por pulverización catódica con magnetrón de un solo objetivo de escritorio con etapa de muestra inclinable para películas de óxido

Este equipo es un recubridor por pulverización catódica con magnetrón de un solo objetivo con una plataforma de muestra inclinable.El ángulo entre la etapa de muestra y la superficie objetivo es ajustable, y el recubridor por pulverización catódica con magnetrón se puede utilizar para hacer películas con ángulos de crecimiento específicos.
Estado de Disponibilidad:
Cantidad:
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  • TN-MSP180S-DC-GU

  • TN

El recubridor por pulverización catódica con magnetrón de objetivo único de escritorio con etapa de muestra inclinable para películas de óxido es un producto de calidad profesional diseñado para la preparación de películas de precisión.Con su tecnología avanzada y características versátiles, este recubridor es perfecto para crear películas delgadas ferroeléctricas, películas conductoras y películas de aleaciones de una o varias capas.


Con un diseño de escritorio compacto, este recubridor es adecuado para aplicaciones de laboratorio y de investigación.Su sistema de pulverización catódica con magnetrón de un solo objetivo garantiza la deposición uniforme y controlada de la película, lo que permite obtener resultados precisos y reproducibles.La etapa de muestra inclinable mejora aún más el proceso de recubrimiento al proporcionar flexibilidad en el espesor y la composición de la película.


Con este recubridor se pueden conseguir películas de óxido de alta calidad con excelente adherencia y uniformidad.Ya sea que esté realizando experimentos, desarrollando nuevos materiales o fabricando dispositivos electrónicos, esta recubridora es una herramienta confiable y eficiente que cumple con los estándares profesionales.

Parámetros técnicos de la recubridora por pulverización catódica con magnetrón:

TN-MSP180S-DC-GU

Etapa de muestra

Tamaño

Φ60mm

Velocidad de rotación

0-20 ajustable

Objetivo de pulverización magnetrón

Cantidad

2'x1



Cámara de vacío

Tamaño de la cámara

Φ180mm x 150mm

Ventana de observación

Visibilidad omnidireccional

Material de la cámara

Cuarzo de alta pureza

Apertura   método

Cubierta superior extraíble

Brida inferior

Incluye mecanismo de inclinación de la mesa de muestra   y mecanismo de rotación

Sistema de vacío

bomba mecanica

Bomba de paletas rotativa de dos etapas

Interfaz de bombeo

KF16

bomba molecular

bomba turbomolecular

Interfaz de bombeo

KF40

Medición de vacío

Medidor de resistencia + medidor de ionización

Interfaz de escape

KF40

Vacío definitivo

1.0E-3Pa

Fuente de alimentación

CA 220 V 50/60 Hz

Tasa de bombeo

Bomba de respaldo: 1,1 L/s Bomba molecular:   60L/S

Configuración de energía

Cantidad

Fuente de alimentación CC x1

Potencia máxima de salida

Fuente de alimentación CC 300W

Otro

Suministrar  Voltaje

CA 220 V, 50 Hz.

Dimensions

500 mm  x 320 mm x 620 mm

Poder total

2kW






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