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TN-VTC-3DC
TN
TN-VTC-3DC es un sistema de pulverización catódica con magnetrón de plasma RF de 2' de tres cabezales diseñado para recubrimientos de películas delgadas no metálicas, principalmente para películas delgadas de óxido multicapa. Es el recubridor más rentable para investigar en la nueva generación de óxidos delgados. La opción de pulverización catódica con magnetrón de CC está disponible a pedido para la deposición de películas metálicas, lo que permite tres configuraciones de cabezales de pulverización de CC, uno de RF / dos de CC y dos de RF / uno de CC.
Este dispositivo se puede utilizar para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de PTFE y similares.En comparación con equipos similares, este recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos no solo se usa ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un tamaño pequeño y fácil operación, y es un equipo ideal para preparar películas de materiales en un laboratorio.
Sistema de pulverización catódica por magnetrón de plasma RF Parámetros técnicos：
Potencia de entrada | ·Monofásico 110 VAC, 50 / 60 Hz |
Cabezal de pulverización magnetrón | ·Tres magnetrones de 2' Se incluyen cabezales con camisas de refrigeración por agua y se insertan en cuarzo. cámara mediante abrazaderas rápidas |
Objetivo de chisporroteo | ·Requisito de tamaño objetivo: 2' diámetro x 1/8' espesor máximo |
Cámara de vacío | ·Cámara de vacío: 300 mm DE x 500 mm Altura, de acero inoxidable |
Portamuestras | ·El portamuestras es giratorio y Platina calefactable de cerámica con tapa de acero inoxidable. |
Bomba aspiradora | ·El puerto de vacío KF40 está integrado para conexión a una bomba de vacío. |
Tamaño | 540 mm de largo x 540 mm de ancho x 1000 mm de alto |
Embalaje Peso | Alrededor de 145 kilos |
Garantía | Un año de garantía limitada de por vida apoyo |
Ya sea para admitir la personalización | Sí |
TN-VTC-3DC es un sistema de pulverización catódica con magnetrón de plasma RF de 2' de tres cabezales diseñado para recubrimientos de películas delgadas no metálicas, principalmente para películas delgadas de óxido multicapa. Es el recubridor más rentable para investigar en la nueva generación de óxidos delgados. La opción de pulverización catódica con magnetrón de CC está disponible a pedido para la deposición de películas metálicas, lo que permite tres configuraciones de cabezales de pulverización de CC, uno de RF / dos de CC y dos de RF / uno de CC.
Este dispositivo se puede utilizar para preparar películas delgadas ferroeléctricas de una o varias capas, películas conductoras, películas de aleaciones, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, películas de óxido, películas duras, películas de PTFE y similares.En comparación con equipos similares, este recubridor por pulverización catódica con magnetrón de tres objetivos no solo se usa ampliamente, sino que también tiene las ventajas de un tamaño pequeño y fácil operación, y es un equipo ideal para preparar películas de materiales en un laboratorio.
Sistema de pulverización catódica por magnetrón de plasma RF Parámetros técnicos：
Potencia de entrada | ·Monofásico 110 VAC, 50 / 60 Hz |
Cabezal de pulverización magnetrón | ·Tres magnetrones de 2' Se incluyen cabezales con camisas de refrigeración por agua y se insertan en cuarzo. cámara mediante abrazaderas rápidas |
Objetivo de chisporroteo | ·Requisito de tamaño objetivo: 2' diámetro x 1/8' espesor máximo |
Cámara de vacío | ·Cámara de vacío: 300 mm DE x 500 mm Altura, de acero inoxidable |
Portamuestras | ·El portamuestras es giratorio y Platina calefactable de cerámica con tapa de acero inoxidable. |
Bomba aspiradora | ·El puerto de vacío KF40 está integrado para conexión a una bomba de vacío. |
Tamaño | 540 mm de largo x 540 mm de ancho x 1000 mm de alto |
Embalaje Peso | Alrededor de 145 kilos |
Garantía | Un año de garantía limitada de por vida apoyo |
Ya sea para admitir la personalización | Sí |
